高量程MEMS加速度计的热应力仿真与可靠性评估

发布时间：2017-12-23 06:27

  本文关键词：高量程MEMS加速度计的热应力仿真与可靠性评估　出处：《中国惯性技术学报》2015年04期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：硅压敏电阻阻值漂移过大导致输出失效是高量程MEMS加速度计在恶劣温度环境下工作的主要失效模式之一。通过模拟仿真加速度计悬臂梁、芯片结构和封装后整体模型的热应力分布情况,确定了压敏电阻所在结构梁区域是最容易失效的位置,且最大热应力分布在芯片梁与质量块倒角处,其值约为107 N/m2;通过设计的高温加速恒定应力试验验证了加速度计的温度敏感特性,根据试验数据的特征采用三种可靠度评估方法定量外推出高量程MEMS加速度计在规定应力条件下的可靠度指标。研究结果表明,加速性能退化试验和基于退化量的可靠性评估方法适用于高量程MEMS加速度计在温度环境中的可靠性研究,能够利用有限的试验数据获得可信度较高的评估结果。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学仪器与电子学院;中北大学信息与通信工程学院;
【基金】：山西省自然科学基金(2014011021-5) 电子测试技术重点实验室基金(9140C12040515X)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 高量程MEMS加速度计主要应用于航天测控、导弹侵彻等实际环境,测试过程往往伴随高温、高冲击、高过载等复杂应力的影响,会导致传感器失效无法准确测试运动载体的各种信息。文献[1]总结了高g值加速度计现场测试的相关研究成果,包括抗冲击性能和校准等;文献[2]提出在结构最易断

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1322786