90nm DUV光刻物镜重力变形及其对波像差影响分析

发布时间：2017-12-23 12:49

  本文关键词：90nm DUV光刻物镜重力变形及其对波像差影响分析　出处：《光电工程》2015年03期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：本文基于数值孔径为0.75,满足90 nm技术节点的DUV光刻物镜系统,采用在透镜边缘施加支撑力的方式进行重力变形控制。采用有限元法研究透镜表面非球面变形与补偿力的关系,分析补偿后透镜重力变形对系统波像差的影响并与补偿前系统进行对比。结果表明:加边缘补偿力后,透镜非球面变形均方根最大值由50.877 nm减小至26.675 nm,但补偿后系统波像差均方根最大值由0.041λ增大到0.055λ。由此可以得出结论:该补偿方式能够有效补偿透镜表面非球面变形,但补偿后系统波像差反而增大,所以要降低系统的波像差,不仅需要减小透镜变形,同时还需考虑各透镜变形之间的相互补偿作用。
【作者单位】： 北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室;
【基金】：国家科技重大专项(2009ZX02201-003) 国家自然基金重点项目(60938003) 光电成像技术与系统教育部重点实验室开放课题(2013OEIOF05)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言随着现代集成技术的飞速发展,对光刻系统分辨力的要求也在不断提高。光刻投影物镜是光刻系统的核心部分,其光学性能对光刻系统分辨力起着决定性作用。目前,90 nm技术节点深紫外(DUV)光刻投影物镜是光刻系统中的主流物镜之一,一般由20~30片镜片组成,要求集成后系统波像差

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1323952