绝对式光栅尺细分误差补偿方法

发布时间：2017-12-29 17:06

  本文关键词：绝对式光栅尺细分误差补偿方法　出处：《光学学报》2015年01期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：为了提高绝对式光栅尺的细分精度,提出了一种细分误差补偿方法。对绝对式光栅尺A、B两路叠栅条纹信号进行傅里叶分析,建立叠栅条纹信号模型;对信号模型中的相位、振幅、谐波、直流分量进行校正,得到理想叠栅条纹信号的模型;对比实际信号模型和理想信号模型的细分位置,得到绝对式光栅尺的细分误差;根据该误差对细分值进行补偿,提高细分精度。通过使用JC09型绝对式光栅尺对该方法进行验证,可使其细分相对误差从2.70%降低到1.05%。实验结果表明,该方法能够有效地提高绝对式光栅尺细分精度,且该方法具有原理简单、易于实现的优点。
[Abstract]:......
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学;
【基金】：国家科技重大专项(2013ZX04007021)
【分类号】：TH711
【正文快照】： 1引言绝对式光栅尺作为长度计量元件,广泛应用于现代机床加工行业中。绝对式光栅尺的具有开电后直接得到当前位置信息,系统无需执行参考点回零操作;绝对位置计算在读数头内完成,无需后续细分电路;采用双向串行通信技术,通信可靠等优点[1]。因此,国内外中高档数控系统中越来越

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1351067