基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量

发布时间：2017-12-30 10:19

  本文关键词：基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量　出处：《物理学报》2014年18期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 纳米压印 纳米测量 Mueller矩阵椭偏仪 测量准确度

【摘要】：在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵椭偏仪可以改变波长、入射角和方位角3个测量条件,而且在每一组测量条件下都可以获得一个4×4阶Mueller矩阵共16个参数,因此可以获得更为丰富的测量信息.通过选择合适的测量条件配置,充分利用Mueller矩阵中的测量信息,有望实现更为准确的纳米结构测量.基于此,本文利用自主研制的Mueller矩阵椭偏仪对硅基光栅模板和纳米压印光刻胶光栅结构进行了测量.实验结果表明,通过对Mueller矩阵椭偏仪进行测量条件优化配置,并且在光学特性建模时考虑测量过程中出现的退偏效应,可以实现压印工艺中纳米结构线宽、线高、侧壁角以及残胶厚度等几何参数更为准确的测量,同时对于纳米压印光刻胶光栅结构还可以直接得到光斑照射区域内残胶厚度的不均匀性参数.
[Abstract]:......
【作者单位】： 华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室;华中科技大学材料科学与工程学院;华中科技大学光学与电子信息学院;
【基金】：国家自然科学基金(批准号:91023032,51005091) 国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2011YQ160002) 教育部长江学者和创新团队发展计划资助的课题~~
【分类号】：TH74
【正文快照】： 级尺度的测量,但其显著缺点是速度慢、成本高、设1 31 备操作复杂、难以集成到制造工艺线上实现在线测^ 量.与之相反,光学测量方法如光学散射测量技术纳米压印是一种利用模板将图形转移到衬底 (optical scatter ometry),具有速度快、成本低、无接上的批量化纳米制造工艺[1,2】

【参考文献】

相关期刊论文 前4条

1 刘世元;;计算测量问题与求解方法初探[J];机械工程学报;2014年04期

2 彭静;徐智谋;吴小峰;孙堂友;;纳米压印技术制备表面光子晶体LED的研究[J];物理学报;2013年03期

3 张铮;徐智谋;孙堂友;何健;徐海峰;张学明;刘世元;;硅表面抗反射纳米周期阵列结构的纳米压印制备与性能研究[J];物理学报;2013年16期

4 马智超;徐智谋;彭静;孙堂友;陈修国;赵文宁;刘思思;武兴会;邹超;刘世元;;基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测[J];物理学报;2014年03期

【共引文献】

相关期刊论文 前5条

1 李阳;徐维;王忆;;紫外纳米压印OLED衬底微结构的制备技术[J];微纳电子技术;2013年07期

2 钟远聪;;光子晶体缺陷中掺入增益介质的小信号增益特性[J];人工晶体学报;2014年06期

3 张铮;徐智谋;孙堂友;何健;徐海峰;张学明;刘世元;;硅表面抗反射纳米周期阵列结构的纳米压印制备与性能研究[J];物理学报;2013年16期

4 马智超;徐智谋;彭静;孙堂友;陈修国;赵文宁;刘思思;武兴会;邹超;刘世元;;基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测[J];物理学报;2014年03期

5 张志刚;董凤良;张青川;褚卫国;仇康;程腾;高杰;伍小平;;像素偏振片阵列制备及其在偏振图像增强中的应用[J];物理学报;2014年18期

【二级参考文献】

相关期刊论文 前7条

1 谈春雷,易永祥,汪国平;一维金属光栅的透射光学特性[J];物理学报;2002年05期

2 任立勇,刘立人,刘德安,栾竹;双掺杂LiNbO_3:Fe:Mn体全息光栅的时空衍射特性[J];物理学报;2003年11期

3 穆全全;刘永军;胡立发;李大禹;曹召良;宣丽;;光谱型椭偏仪对各向异性液晶层的测量[J];物理学报;2006年03期

4 刘光友;谭兴文;姚金才;王振;熊祖洪;;电化学制备薄黑硅抗反射膜[J];物理学报;2008年01期

5 刘世元;顾华勇;张传维;沈宏伟;;基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究[J];物理学报;2008年09期

6 彭静;徐智谋;吴小峰;孙堂友;;纳米压印技术制备表面光子晶体LED的研究[J];物理学报;2013年03期

7 张铮;徐智谋;孙堂友;何健;徐海峰;张学明;刘世元;;硅表面抗反射纳米周期阵列结构的纳米压印制备与性能研究[J];物理学报;2013年16期

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 尹磊;刘红忠;丁玉成;卢秉恒;;基于纳米压印技术的光伏器件微三维构型研究[J];传感技术学报;2006年05期

2 李海华;李小丽;王庆康;;纳米压印技术中模板表面的气相法抗粘连修饰[J];上海交通大学学报;2007年10期

3 刘伟;王伊卿;甘代伟;;刚性模具纳米热压印直接成型技术研究与应用[J];模具工业;2010年09期

4 王定理;刘文;周宁;徐智谋;;用于分布反馈光栅的纳米压印模板制作[J];光学精密工程;2011年11期

5 蒋维涛;丁玉成;卢秉恒;刘红忠;;压印光刻中模具空间位姿的识别及仿真[J];西安交通大学学报;2007年01期

6 连芩;刘红忠;丁玉成;尹磊;;TiO_2光阳极有序微结构的纳米压印工艺[J];西安交通大学学报;2009年11期

7 段家现;;纳米压印技术的研究[J];装备制造技术;2010年07期

8 ;纳米与粉体材料[J];新材料产业;2008年04期

9 张鸿海;谢丹;刘胜;甘志银;;基于荷花效应的双微观超疏水表面制作技术研究[J];中国机械工程;2009年02期

10 丁万勇;戴树玺;王洋;王广君;张兴堂;杜祖亮;;光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的纳米压印制备[J];科学通报;2011年14期

相关会议论文 前10条

1 孙天华;胡彬彬;杜祖亮;;利用纳米压印方法制备纳米电极[A];中国化学会第28届学术年会第4分会场摘要集[C];2012年

2 程照溪;陈昕;陈相仲;沈群东;;铁电高分子拉伸和纳米压印中的结构演变和性能研究[A];中国化学会第28届学术年会第7分会场摘要集[C];2012年

3 林宏;万霞;姜学松;王庆康;印杰;;基于硫醇点击化学的新型紫外纳米压印胶[A];2011年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2011年

4 石刚;吕男;;纳米压印技术在导电聚合物中的应用[A];中国化学会第28届学术年会第4分会场摘要集[C];2012年

5 左强;王磊;王智浩;孙堂友;周宁;赵彦立;徐志谋;刘文;;纳米压印技术制作DFB半导体激光器[A];第十三届全国红外加热暨红外医学发展研讨会论文及论文摘要集[C];2011年

6 石刚;吕男;;基于纳米压印技术构筑导电聚合物纳米线[A];中国化学会第28届学术年会第15分会场摘要集[C];2012年

7 洪晓东;王铀;王雪峰;;嵌段共聚物表面AFM针尖锻造纳米图案热擦除动力学研究[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集（上册）[C];2009年

8 董晓文;司卫华;顾文琪;;纳米压印光刻技术及其设备研制[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年

9 王旭迪;付绍军;;利用UVN-30光刻胶制作高线密度纳米压印模板[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年

10 王普天;王慧慧;魏杰;;MWNT/Ag/UV树脂纳米压印复合材料的研究[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集（上册）[C];2009年

相关重要报纸文章 前6条

1 尹晖;市领导会见美国国家工程院院士[N];无锡日报;2009年

2 陈超;日开发低成本纳米压印刻蚀装置[N];科技日报;2002年

3 记者王俊鸣;64位存储器在美问世[N];科技日报;2002年

4 本报记者 张煜;打造“精密”平板秀[N];中国电子报;2010年

5 记者 刘霞;增强拉曼散射传感器灵敏度提高10亿倍[N];科技日报;2011年

6 同济大学教授 沈海军;纳米艺术如何施展身手?[N];大众科技报;2011年

相关博士学位论文 前10条

1 李小丽;纳米压印技术制作光子晶体结构及其应用研究[D];上海交通大学;2009年

2 董会杰;纳米压印用聚合物体系的创制与性能的研究[D];华东理工大学;2011年

3 袁长胜;多功能纳米压印机的研制及其在自支撑光栅制备中的应用[D];南京大学;2011年

4 高立国;纳米压印在制备双色发光图案及负折射系数材料中的应用[D];吉林大学;2011年

5 王定理;纳米压印技术及其在金属光栅偏振分束器和半导体激光器上的应用[D];武汉大学;2010年

6 洪晓东;嵌段共聚物薄膜二维自组装及在纳米压印中的应用[D];哈尔滨工业大学;2010年

7 林宏;新型紫外纳米牙印光刻胶的研究[D];上海交通大学;2012年

8 黄春玉;基于纳米压印技术构筑导电高分子图案[D];吉林大学;2010年

9 范细秋;纳米压印及MEMS仿生功能表面制备的研究[D];华中科技大学;2006年

10 孟凡涛;纳米光刻技术及其在三端结器件和纳米光栅偏振器中的应用[D];大连理工大学;2011年

相关硕士学位论文 前10条

1 张继宗;阳离子型纳米压印胶与复合纳米压印模板的研究[D];南京大学;2012年

2 丁万勇;利用纳米压印技术构筑图案化微纳结构[D];河南大学;2010年

3 林亮;基于纳米压印技术制备人工微结构光电功能材料工艺研究[D];南京大学;2013年

4 王海祥;纳米压印镍模板的复制工艺研究[D];大连理工大学;2013年

5 李天昊;基于气体压缩式施压的纳米压印研究[D];郑州大学;2013年

6 张满;基于巯基—烯材料的纳米压印聚合物模板的制备技术研究[D];中国科学院研究生院（光电技术研究所）;2013年

7 何雪萦;大行程纳米压印光刻机的电控系统设计[D];上海交通大学;2010年

8 刘瑞宏;基于纳米压印技术的亚波长抗反射结构的工艺研究[D];上海交通大学;2012年

9 罗哲;曲面微光学结构纳米压印制备技术研究[D];哈尔滨工业大学;2013年

10 吴成年;面向曲面基底微光学元件加工的纳米压印设备的研究[D];哈尔滨工业大学;2012年

，

本文编号：1354486