四极质量分析器的几何量检测研究

发布时间：2017-12-31 05:05

  本文关键词：四极质量分析器的几何量检测研究　出处：《制造技术与机床》2015年02期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：四极质量分析器是四极质谱仪的核心部件之一,其极杆加工及组件装配精度要求很高。介绍了四极质量分析器研制中其部件极杆、陶瓷座的几何量检测内容及自研装置,四极质量分析器装配组件的装配精度检测方法。批量生产的四极质量分析器的检测结果表明装配的综合精度可以稳定达到3μm以内,几何量的检测满足实际要求,质谱测试的分辨率达到1 500以上,性能达进口四极质量分析器水平。
[Abstract]:The four - pole mass analyzer is one of the core parts of the quadrupole mass spectrometer , and its pole - pole machining and assembly accuracy requirements are very high . The results of the four - pole mass analyzer are introduced in this paper . The results of the four - pole mass analyzer show that the integrated precision can be stabilized to within 3 渭m , and the resolution of the mass spectrometer can reach more than 1,500 , and the performance can reach the level of the imported quadrupole mass analyzer .

【作者单位】： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项资金资助(2011YQ130043)
【分类号】：TH843
【正文快照】： 四极杆质谱计是目前最成熟、应用最广泛的小型质谱计之一,四极质量分析器是其核心部件。在高质量数处达到高分辨率是四极质量分析器制造技术水平的重要标志,我国早在上世纪60年代就已开始研制四极质谱计,70年代推出商品化仪器,但直到现在,国产仪器一直停留在低分辨率应用上,最

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本文编号：1358252