激光干涉二等量块自动测量装置

发布时间：2018-01-07 18:08

  本文关键词：激光干涉二等量块自动测量装置　出处：《中国测试》2015年09期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：该文利用激光干涉测长原理研发二等量块自动测量系统,该装置采用633 nm碘饱和吸收稳频He-Ne激光器作为标准。硬件方面设计、开发机械本体,搭建激光光路和信号处理模块,研发精密定位的柔性传感器,选配相关电机驱动和环境参数监控系统;软件方面研发数据采集和监控处理程序、测量结果判定及环境参数补偿软件。本装置测量范围上限达100 mm,测量量块的扩展不确定度为U=0.04~0.08μm(k=3),其复现量值指标达到JJG 146——2011《量块》的技术要求。
[Abstract]:Based on the principle of laser interferometry, an automatic measuring system for second-class measuring blocks is developed in this paper. The device adopts a 633nm iodine saturated absorption stabilized frequency He-Ne laser as the standard. Hardware design and development of the mechanical body are carried out. Build laser optical path and signal processing module, research and develop precision positioning flexible sensor, select the relevant motor drive and environmental parameters monitoring system; Software for data acquisition and monitoring and processing, measurement results and environmental parameters compensation software. The upper limit of this device is 100 mm. The extended uncertainty of the measuring block is U ~ (0.04) ~ (0.08) 渭 m ~ (-1), and its reproducibility value is up to the technical requirement of JJG 146-2011.
【作者单位】： 广东省现代几何与力学计量技术重点实验室;广东省计量科学研究院;中国计量科学研究院;
【基金】：质检公益科研专项(201110043)
【分类号】：TH711
【正文快照】： 0引言根据JJG 146——2011《量块》计量检定规程,从制造角度来看由量块的实际长度对标称长度的偏差值,准确度等级为K、0、1、2、3共5个等级[1];从使用角度来看由量块实际中心长度的测量不确定度,其等级分为1、2、3、4、5共5个等级。量块计量检定是保证精密制造的基础。随着我

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1393655