调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响

发布时间：2018-01-14 08:33

  本文关键词：调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响　出处：《中国激光》2014年07期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均方根(RMS)值和Fringe Zernike多项式系数之间的关系。计算结果表明:调节时通过降低调节力的大小,可以控制面形劣化程度。采用具有吸收调节力功能的柔性支撑结构后,在50N的驱动力偏心调节时,透镜上表面面形PV值和RMS值分别为2.704nm和0.528nm,透镜下表面面形PV值和RMS值分别为2.984nm和0.571nm。透镜面形的PV值、RMS值及Fringe Zernike多项式系数随调节力线性变化,但是调节力不会改变各种像差的性质,它引入的透镜像差主要为像散。
[Abstract]:For deep ultraviolet lithography projection lens aberration compensation requirement, analyze the stress on the lens in eccentric adjusting, flexibility matrix method based on a flexible multi lens support structure design of shrapnel, studied the lens surface with the adjusting force, using finite element method to analyze the regulation of force and lens surface peak the valley (PV) value, root mean square (RMS) and the relationship between the values of Fringe Zernike polynomial coefficient. The calculation results show that the adjustment by reducing adjusting the size of the force, can control the surface deterioration. With the absorption of flexible supporting structure adjustment function, the driving force in the eccentric regulation of 50N, surface the surface PV lens and RMS were 2.704nm and 0.528nm, lens surface PV and RMS values were 2.984nm and 0.571nm. lens surface shape of the PV value, RMS value and Fringe Zernike coefficients vary linearly with the adjusting force, but the adjustment The joint force does not change the properties of various aberrations, and the aberration of the lens it introduces is mainly astigmatism.

【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【基金】：国家科技重大专项基金(2009ZX02205)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言用于极大规模集成电路(ULSI)制造的深紫外(DUV)光刻投影物镜的精度要求很高[1-2]。但是,在装配及长时间工作过程中,会因自重[3]、装配应力、系统外部振动[4]、温度和气压变化[5]等导致光刻系统性能下降。为了补偿由上述原因导致的部分彗差和像散等旋转不对称误差,通过调

【参考文献】

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9 倪明阳;巩岩;;深紫外投影物镜偏心调整机构的传动比分析(英文)[J];红外与激光工程;2012年12期

10 王平;田伟;王汝冬;王立朋;隋永新;杨怀江;;标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计[J];中国光学;2011年04期

【共引文献】

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6 王超;自由曲面表征函数及其应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2014年

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3 靳国宝;轨迹补偿法加工中等口径非球面光学零件技术研究[D];长春理工大学;2006年

4 王鹏;补偿法高精度光学非球面检测技术[D];长春理工大学;2007年

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本文编号：1422835