用于扫描探针电子能谱仪的扫描隧道显微镜

发布时间：2018-01-15 00:14

本文关键词：用于扫描探针电子能谱仪的扫描隧道显微镜　出处：《真空科学与技术学报》2016年11期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：扫描探针电子能谱学是正在发展中的一种结合了扫描隧道显微技术的电子能谱学技术,可以原位地获得固体表面的形貌和能谱信息。本文针对新研制的扫描探针电子能谱仪专门设计制作了一台采用横向隧道结结构、小巧紧凑、稳定对称的扫描隧道显微镜,可以工作在隧道区测量样品表面形貌,也可以在近场发射区测量表面背散射电子能谱。在高定向热解石墨和石墨基底上蒸镀的银膜样品的得到的原子分辨、纳米结构图像和原位电子能量损失谱表明这两种功能已完全实现。
[Abstract]:Scanning probe Electron Spectroscopy (SEM) is a newly developed technique which combines scanning tunneling microscopy (STM) with scanning tunneling microscopy (STM). The morphology and energy spectrum information of solid surface can be obtained in situ. In this paper, a new scanning probe electron energy spectrometer is designed and fabricated, which is compact and compact with a transverse tunnel junction structure. The stable and symmetrical scanning tunneling microscope can work in the tunnel area to measure the surface morphology of the sample. Surface backscatter electron spectra can also be measured in the near field emission region. Atomic resolution of silver film samples evaporated on highly oriented pyrolytic graphite and graphite substrates can also be measured. The nanostructure images and in situ electron energy loss spectra show that these two functions have been fully realized.
【作者单位】：中国科学技术大学近代物理系和合肥微尺度物质科学国家实验室(筹);
【基金】：国家重点基础研究发展计划(973计划)(2010CB923301) 国家自然科学基金项目(11174268,11327404)
【分类号】：TH742;TH842
【正文快照】： 电子能谱学技术是表面分析中的一种重要方法,可以帮助我们获得固体表面的物理化学信息。但大部分情况下,所获得的信息是一种“集体效应”。当需要了解诸如单个纳米粒子等离激元或单分子激发等“局域信息”时,则需要电子能谱测量具有一定的空间分辨能力[1]。与以高速电子束为探

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