氦质谱细漏检测最长候检时间的定量拓展

发布时间：2018-01-26 08:44

本文关键词： 氦质谱细漏检测最长候检时间定量拓展　出处：《中国电子科学研究院学报》2015年06期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：通过论证和推演,对各种氦质谱细漏检测方法给出了当细漏氦气测量漏率判据R_(max)小于粗漏判据相应的氦气测量漏率判据R_(0max)时,定量拓展细漏检测最长候检时间的公式,并给出了保持被检件内部氦气分气压不低于0.9倍的正常空气中氦气分气压P_(HeO)的方法。
[Abstract]:Through the demonstration and deduction of helium leakage detection method is given when the leakage of helium leak rate measurement criterion R_ (max) is less than the corresponding criterion for measuring crude helium leakage rate criterion R_ (0max), fine leak detection quantitative expansion the longest waiting time formula is given for preserving normal helium air a helium inside partial pressure of not less than 0.9 times in the air P_ (HeO) method.

【作者单位】：北京市科通电子继电器总厂有限公司;
【分类号】：TH843
【正文快照】： 0弓I言 2013、2014年申请的发明专利[1_4]提出了定量确定氦质谱细漏检测最长候检时间的方法。基于密封件内外气体交换的分子流模式,在参考文献[5] 中论证推演了定量确定压氦法和预充氦法最长候检时间的公式,并在参考文献[6]中应用于固定方案的设计;在参考文献[7]中给出了

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