电子能量损失谱元素定量分析的条件优化

发布时间：2018-02-01 02:39

本文关键词： 电子能量损失谱实验参数定量分析非弹性散射截面　出处：《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》2016年10期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：研究了电子能量损失谱元素定量分析的影响因素,测定了能量损失谱仪的重要实验参数:接收角和汇聚角.在不同的实验条件下收集了一系列标准样品,如氮化硼、氧化铁、氧化铝、氧化锌、硫化锌、氧化钛、氧化硅和氧化锆的电子能量损失谱,对其元素定量分析的影响因素,包括入口光栏直径、非弹性散射截面计算模型、积分区间宽度和背底拟合函数等进行了探讨,深入分析每个因素对电子能量损失谱的定量结果影响,得到了电子能量损失谱元素定量分析的优化条件.
[Abstract]:The factors influencing the quantitative analysis of electron energy loss spectrum elements were studied. The important experimental parameters of the energy loss spectrometer were determined: the receiving angle and the convergence angle. A series of standard samples were collected under different experimental conditions. For example, the electron energy loss spectra of boron nitride, iron oxide, alumina, zinc oxide, zinc sulfide, titanium oxide, silicon oxide and zirconia. The inelastic cross section calculation model, the integral interval width and the back bottom fitting function are discussed, and the effect of each factor on the quantitative results of electron energy loss spectrum is deeply analyzed. The optimized conditions for quantitative analysis of electron energy loss spectrum elements are obtained.
【作者单位】：天津大学分析中心;美国加州大学伯克利分校化学系;
【基金】：天津大学实验室建设与管理改革立项
【分类号】：TH842
【正文快照】： 透射电子显微镜(TEM)通过能谱(EDS)和电子能量损失谱(electron energy loss spectroscopy,EELS)作为附件进行微区成分分析,除了进行元素定性分析,定量分析也是显微分析所需的重要信息,而能谱进行元素定量分析的影响因素多,通常只作为半定量分析.电子能量损失谱是20世纪40年代

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