凸非球面背向零位补偿检验的设计方法

发布时间：2018-03-10 17:24

本文选题：几何光学　切入点：辅助面补偿　出处：《光子学报》2015年04期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为了实现大口径凸非球面的高准确度检测,提出了凸非球面背向零位补偿检验方法.该方法在非球面背面引入辅助球面并在光路中加入球面补偿透镜来达到零位补偿检验.辅助球面既可以使凸非球面等效为凹非球面,还可以补偿部分非球面法线像差.依据三级像差理论,对辅助球面曲率半径及补偿透镜结构参量进行初始结构求解,并编写了求解初始结构软件,再利用光学设计软件对初始结构进行优化,优化结果满足设计要求,使凸非球面背向零位补偿检验理论化.在实际应用中,以Φ120mm凸非球面为例设计了凸非球面背向零位补偿检测系统,检测系统设计的剩余波像差PV为0.024λ、RMS为0.007λ.利用此检测方法加工完成后的凸非球面的面形准确度优于λ/40.
[Abstract]:In order to realize the high accuracy detection of large aperture convex aspherical surface, In this paper, a method for compensating the back zero of convex aspherical surface is presented, in which the auxiliary sphere is introduced into the back of the aspheric surface and the spherical compensation lens is added to the optical path to achieve the zero compensation test. The auxiliary sphere can make the convex aspheric surface equivalent to the concave aspherical surface. Based on the third-order aberration theory, the initial structure of the auxiliary spherical curvature radius and the structural parameters of the compensated lens are solved, and a software is developed to solve the initial structure. Then the initial structure is optimized by using optical design software, and the optimization results meet the design requirements, which makes the test of the convex aspheric surface with zero position compensation in the back of the convex aspherical surface theorized. Taking 桅 120mm convex aspherical surface as an example, a measuring system for convex aspheric surface is designed. The residual wave aberration PV is 0.024 位 and RMS is 0.007 位. The surface accuracy of convex aspheric surface fabricated by this method is better than that of 位 / 40.
【作者单位】：中国科学院上海技术物理研究所;同济大学;
【基金】：国家重点基础研究发展计划(No.2011CB013206)资助
【分类号】：TH74

【参考文献】

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【共引文献】

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