非零位补偿检验非球面技术（英文）

发布时间：2018-03-25 19:22

  本文选题：光学检测　切入点：非球面　出处：《红外与激光工程》2015年09期

【摘要】：为了无需定制补偿透镜或者计算全息等就能实现对非球面光学元件的检测,提出了非零位补偿测试非球面的方法。对非零位补偿检验非球面中的部分补偿法、数字样板法和子孔径拼接法的基本原理和基础理论分别进行了分析和研究,建立了合理的数学模型,并对其具体的实现步骤和测试流程进行了分析和规划。结合工程实例,分别利用数字样板法和子孔径拼接法对一口径为350 mm的浅度非球面进行了面形检测,两种方法面形的PV值和RMS值的偏差分别为0.015λ和0.002λ(λ=632.8 nm),并设计和组建了部分补偿检验装置对一高精度凸双曲非球面反射镜进行了测量,其面形的PV值和RMS值分别为0.183λ和0.018λ。
[Abstract]:In order to realize the detection of aspheric optical elements without customizing compensation lens or CGH, a method of testing aspheric surface by nonzero compensation is proposed. The basic principle and basic theory of digital template method and sub-aperture splicing method are analyzed and studied respectively, a reasonable mathematical model is established, and its concrete realization steps and test flow are analyzed and planned. The surface shape of a shallow aspheric sphere with a diameter of 350 mm is tested by digital template method and subaperture splicing method, respectively. The deviations of PV value and RMS value of the two methods are 0.015 位 and 0.002 位 (位 ~ (63. 8) nm ~ (-1)) respectively. A high precision convex hyperbolic aspheric reflector is measured by partial compensation inspection device. The PV and RMS values of the two methods are 0.183 位 and 0.018 位, respectively.
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;
【基金】：国家863基金(O8663NJ090) 国家973基金(2011CB0132005) 国家自然科学基金(61036015)
【分类号】：TH74

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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