基于双频激光干涉仪的显微模板精密测量

发布时间：2018-05-09 11:36

  本文选题：显微视觉 + 双频激光干涉仪　； 参考：《应用光学》2015年02期

【摘要】：为了对光纤阵列测量的高精度显微模板进行精密检测,采用双频激光干涉仪结合显微视觉系统,通过骨架化、腐蚀法、质心法等算法对显微图像进行计算处理,实现模板特征刻线的提取与精确定位。对模板上8条刻度线之间的间距分别进行重复测量和组合测量,实验结果表明重复测量的标准偏差不大于0.07μm,组合测量的标准偏差不大于0.04μm。介绍了测量系统构成与工作原理,并对测量过程进行了精度分析,分析结果表明测量过程的极限误差不大于0.10μm。
[Abstract]:In order to detect the high precision microtemplate of optical fiber array measurement, a dual-frequency laser interferometer combined with a microscopic vision system was used to calculate and process the microscopic image by the algorithms of skeleton, corrosion and centroid. The template feature line extraction and accurate location are realized. The distance between 8 scales on the template was measured repeatedly and combined. The experimental results show that the standard deviation of repeated measurement is not more than 0.07 渭 m, and the standard deviation of combined measurement is not more than 0.04 渭 m. The structure and working principle of the measurement system are introduced, and the accuracy of the measurement process is analyzed. The results show that the limit error of the measurement process is less than 0.10 渭 m.
【作者单位】： 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院;
【基金】：北京市优秀人才培养资助(2013D005007000007) 北京市属高等学校青年拔尖人才培育计划项目(CIT&TCD201404124)
【分类号】：TH744.5

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1865872