NOA73材料的微透镜阵列快速制造技术

发布时间：2018-05-13 09:15

  本文选题：光学器件 + 微透镜阵列　； 参考：《中国激光》2016年07期

【摘要】：针对传统微透镜阵列制作工艺复杂、成本高、周期长等缺点,研究了一种低成本、高效率制作微透镜阵列的技术方法。以SU-8负性光刻胶为主模结构材料,采用2次紫外斜曝光工艺,加工出主光轴平行于硅基的微透镜阵列作为主模结构。依次采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻技术和NOA73紫外曝光技术对主模结构进行复制得到PDMS和NOA73 2种材料的微透镜阵列,用共聚焦显微镜观察微透镜阵列的表面形貌并搭建光学检测平台,测试微透镜阵列的成像效果。结果显示,NOA73材料的微透镜阵列具有更好的光学性能。通过上述工艺加工的微透镜阵列具有较好的成像效果和表面形貌,重复性好且加工周期短,可集成在微流式细胞仪中用于样本流的荧光检测,提高了检测精度。
[Abstract]:A micro lens array with low cost and high efficiency is studied . The micro lens array is composed of PDMS ( PDMS ) soft lithography and NOA73 . The results show that the micro lens array of NOA73 material has better optical performance .

【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(61401405,51475438) 山西省基础研究项目(2014011021-4) 新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
【分类号】：TH74

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本文编号：1882548