四电极电化学MEMS加速度传感器仿真

发布时间：2018-05-22 17:23

  本文选题：电化学加速度传感器 + ACCA四电极阵列　； 参考：《传感器与微系统》2014年01期

【摘要】：基于溶液相对于电极的运动会使电极附近因电势差作用而产生的离子浓度梯度发生改变,从而使电极电流发生变化等电化学原理,建立一种置于碘(I2)和碘化钾(KI)混合水溶液环境中的阳极—阴极—阴极—阳极(ACCA)四电极阵列传感单元模型。通过理论分析,该传感单元可以局部电解液为惯性质量,利用电解液中带电离子相对于电极的运动来产生并输出附加电流;进一步的建模仿真证明:在一定的加速度范围内(0a x0.149 m/s2),附加电流的大小同加速度呈正比关系,故可以将此电流放大输出,从而实现对加速度大小的表征。可利用MEMS工艺制作,并封装此传感单元成为加速度传感器。
[Abstract]:Based on the motion of the solution relative to the electrode, the ion concentration gradient near the electrode caused by the potential difference is changed, and the electrode current changes, such as the electrochemical principle of the electrode current, and an anode cathode cathode anode anode (ACCA) four electrode array is set up in the mixed solution environment of iodine (I2) and potassium iodide (KI). By theoretical analysis, the sensor unit can be an inertial mass in a local electrolyte and use the motion of the charged ion in the electrolyte to produce and output an additional current. Further modeling and simulation prove that the magnitude of the additional current is proportional to the acceleration in a certain range of acceleration (0A x0.149 m/s2). The output of the current is amplified and the magnitude of acceleration is represented. It can be fabricated by MEMS technology and encapsulated as a acceleration sensor.
【作者单位】： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室;中国科学院大学;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(41074129) 国家“863”计划资助项目(2012AA061102)
【分类号】：TH824.4

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