平面拼接干涉仪的子孔径扫描定位系统

发布时间：2016-11-25 17:51

  本文关键词：平面子孔径拼接的干涉测量研究，由笔耕文化传播整理发布。

《南京理工大学》 2012年

平面拼接干涉仪的子孔径扫描定位系统

吴峥瑜  

【摘要】：随着科学技术的不断进步,光学系统朝着大口径方向不断发展,这使得大口径光学元件面形误差的检测成为首要解决的任务。子孔径拼接技术是使用小口径、高分辨率的干涉仪检测大口径光学元件面形。随着该技术的不断发展和完善,对自动化程度提出了更高的要求。本论文设计了一种子孔径扫描定位系统,保持被测件不动,通过移动干涉仪来进行子孔径图像采集。 本系统的设计分为机械系统的设计和软件程序的编写两个部分。机械部分的设计主要通过研究运动控制系统各组成部分及其工作原理,分析比对其性能,结合项目提出的要求,确定需要购买的伺服电机驱动和滚珠丝杠副的型号,然后根据各项技术指标提出具体设计要求。软件程序的编写则分为三个阶段：首先是PLC内部指令的编写,使用Ladder Master编程软件编写阶梯图指令；然后使用Visual C++开发平台进行RS232串口指令的编写；最后编写移动控制软件界面MOPO,该界面的编写用到串口通信控件MSComm,该控件能大大简化界面程序的编写。 在子孔径拼接测试实验中,测试环境的要求比较高,尤其是振动将直接影响测试结果。本论文从环境因素到机械装置部分再到干涉仪内部光路,进行了详细的振动分析,并且利用图像处理技术进行了子孔径的位置标定。

【关键词】：
【学位授予单位】：南京理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2012
【分类号】：TH744.3
【目录】：

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【引证文献】

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