离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究

发布时间：2018-06-08 17:16

  本文选题：测量 + 离焦补偿　； 参考：《激光与光电子学进展》2015年05期

【摘要】：基于立式Fizeau型干涉仪曲率半径测量系统,提出了一种简捷的离焦补偿算法,该算法对猫眼和共焦零位置的离焦量进行补偿,达到了提高曲率半径测精度的目的。从理论的角度分析了待测面波前像差中的离焦量与待测面位置偏移量之间的线性关系,并得到了两者之间变化的斜率。结果表明,猫眼和共焦零位置附近离焦量的大小与待测面位置偏移量之间为线性关系,且拟合直线的斜率与理论值相一致。同时,当待测面在共焦位置存在离焦时,利用离焦补偿算法使曲率半径测量精度提高了一个数量级。
[Abstract]:Based on the curvature radius measurement system of vertical Fizeau interferometer, a simple defocusing compensation algorithm is proposed. The algorithm compensates the defocus of cat's eye and confocal zero position, and achieves the purpose of improving the accuracy of curvature radius measurement. The linear relationship between the defocus of the wavefront aberration and the position offset of the measured surface is analyzed from the theoretical point of view, and the slope of the variation between the two is obtained. The results show that there is a linear relationship between the size of the defocus near the cat's eye and the confocal zero and the displacement of the measured plane, and the slope of the fitting line is consistent with the theoretical value. At the same time, the accuracy of curvature radius measurement is improved by an order of magnitude when there is defocusing at the confocal position of the measured plane.
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【基金】：国家科技重大专项(2009ZX02205)
【分类号】：O436;TH744.3

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1996573