应变测微仪开发及测量系统设计.pdf 全文

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应变测微仪开发及测量系统设计 重庆大学硕士学位论文 （专业学位） 学生姓名：徐正昭 指导教师：唐一科 教 授 兼职导师：骆 力 高 工 学位类别：工程硕士（机械工程领域） 重庆大学机械工程学院 O 二 一四年五月 The Design of Strain Micrometer Sensor’s Measurement System A Thesis Submitted to Chongqing University in Partial Fulfillment of the Requirement for the Professional Degree By Xu Zhengzhao Supervised by Prof. Tang Yike Pluralistic Supervised by Sen.Eng. Luo Li Specialty: ME Mechanical Engineering Filed College of Mechanical Engineering of Chongqing University, Chongqing, China May, 2014 中文摘要 摘 要 随着科技的发展在制造加工行业中，对产品的精度和质量要求越来越高，因 此对精密检测仪器的要求不断提高。目前用于小位移精密测量的仪器主要有电感 测微仪、千分表、扭簧表、气动量仪、容栅表、光栅测微仪、电容测微仪等进行 比较测量。电感比较仪精度很高能达到十分之一微米级，但是价格昂贵，难以得 到推广；千分表和扭簧表是目前市场上用得最为广泛的一种微型测量仪，，经过多 年的发展，它们性能稳定，价格低廉，但是精度都在十个微米以上，并且不能实 现数字化；气动量仪、容栅表，气动测量和电容测微仪是新发展起来的一些小位 移测量仪器，在计算机接口电路中的精度低，且电容测微仪的测量范围小。

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