微纳热压印真空装置研制
[Abstract]:Micronano imprinting in non-vacuum environment will form bubbles between the template and polymer substrate and reduce the transfer quality of micro / nano structure. In order to solve this problem a micro / nano hot embossing vacuum device has been developed. The device comprises a spherical adaptive adjusting structure for adjusting the position and orientation of the pressure head plate, a temperature control device with the semiconductor thermoelectric cooler as the heating and cooling device, a vacuum cover and a sealing system. The heating and cooling power needed in the process of hot stamping was calculated, and the performance experiments of lifting and holding temperature, vacuum performance and application were carried out. The experimental results show that the whole performance of the device is good and suitable for micro and nano hot stamping.
【作者单位】： 大连理工大学机械工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(91023017;51105060;51375076) 国家863计划资助项目(2012AA040406)
【分类号】：TH70
【参考文献】
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【共引文献】
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本文编号：2169549
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