条纹反射法检测光学反射镜面形

发布时间：2018-08-23 19:05

【摘要】：针对光学反射镜在精磨向初抛光过渡阶段时面形与理想面形存在较大偏差的问题,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足加工检测需求的问题,提出采用动态范围大且准确度高的条纹反射法来检测光学反射镜.研究分析了条纹反射检测系统的原理及系统误差,运用光线追迹软件对条纹反射检测100mm口径反射镜面形进行建模仿真,并对已经加工完成的100mm口径旋转对称球面反射镜进行了检测,测量得到的面形误差峰谷值及均方根值分别为0.523μm和0.086μm,满足该过渡阶段的检测需求.
[Abstract]:In view of the problem that there is a big deviation between the shape of the plane and the shape of the ideal surface in the transition stage of the optical mirror from grinding to initial polishing, it is difficult to use profilometer and common interferometer to meet the needs of processing inspection. In this paper, a high accuracy and wide dynamic range fringe reflection method is proposed to detect the optical reflector. The principle and system error of the fringe reflection detection system are studied and analyzed. The ray tracing software is used to model and simulate the fringe reflection detection of 100mm aperture reflection mirror. The surface error peak and valley value and root mean square value are 0.523 渭 m and 0.086 渭 m, respectively, which meet the needs of the transition phase.
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;中国科学院大学;
【基金】：国家自然科学基金项目(No.61036015)资助~~
【分类号】：TH74

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：2199635