MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置
[Abstract]:In order to complete the flow test and calibration of the MEMS gas flow sensor, a simple flow test device composed of standard flow generator and sensor signal readout and data acquisition circuit is designed and manufactured. The standard flow generator is composed of syringes and replaceable weights. Using different weights and counterweights, a suitable constant gas flow rate is generated at the air outlet of the syringe. The feasibility of the simple standard flow generator is verified by theoretical analysis and Ansys finite element numerical simulation. The sensor signal readout and data acquisition circuit is based on a single-chip microcomputer with multi-channel A / D converter. It has the functions of constant temperature control of sensor heating resistor, digital detection and display of flow signal. The flow measurement and calibration of the self-developed MEMS gas flow sensor are carried out by using the simple flow test device. The calibration parameters of the device to be tested and the absolute and relative errors of the sensor flow measurement are obtained.
【作者单位】： 中国工程物理研究院电子工程研究所;重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室;西南科技大学信息工程学院;
【基金】：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009) 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04) 西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03) 西南科技大学研究生创新基金资助项目(13YCJJ31,13YCJJ36)
【分类号】：TH814
【参考文献】
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