纳米压痕仪的校准及其不确定度评定.pdf 全文免费在线阅读

  本文关键词：纳米压痕仪的校准及不确定度评定，由笔耕文化传播整理发布。

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太原理工大学硕士研究生学位论文纳米压痕仪的校准及不确定度评定摘要纳米压痕力学测量技术具有操作灵活简单、测量分辨力高、对样品无损或微损等优点,广泛用于金属、微机电系统、复合材料、生物材料、薄膜涂层等材料力学性能的测试。商用的纳米压痕仪的位移和载荷传感器都存在测量误差,压头面积函数和理论模型也会有所偏差,这些误差都会导致测量准确度的下降,因此需要对商用的纳米压痕仪进行校准。本文在位移因子已经完成校准的基础上,对纳米压痕仪的压头面积函数和载荷因子进行了校准,并对纳米压痕力学测量系统的硬度和折合模量的测量不确定度进行了评定。主要研究工作及结果如下:1.玻式压头面积函数的校准与溯源。针对玻式压头由于制造精度和磨损钝化所导致几何形状的偏差对纳米压痕力学测量的影响,采用两种方法对玻式压头面积函数进行校准:一种是通过熔融石英标准样块测量的间接校准法,在该方法中首先校准机架柔度,然后在熔融石英上进行一系列不同压入深度的压痕实验,最后通过迭代方法得出压头面积函数。另一种方法是基于原子力显微镜的直接校准法,在该方法采用了0.2Hz、0.5Hz和1Hz三种不同的扫描频率对玻式压头尖端进行了扫描,通过拟合压头截面积与高度的关系得出与针尖高度... 内容来自转载请标明出处.

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