基于光纤低相干干涉技术的透镜中心厚度测量方法研究

发布时间：2018-10-24 13:19

【摘要】：基于光纤低相干干涉技术的测厚原理,提出了透镜中心厚度检测系统的结构设计;分析了影响检测仪器检测精度的主要因素,并分别从光路、电路设计及信号处理等方面,提出了提高检测系统检测精度的方法;同时将K-means聚类算法应用于多组干涉信号峰值识别和提取,有效提高了系统测量的重复精度。所设计的系统具有结构简单、测量速度快等特点,测量精度优于1μm。
[Abstract]:Based on the thickness measurement principle of optical fiber low coherent interferometry, the structural design of the thickness measurement system for the lens center is proposed, and the main factors affecting the measuring accuracy of the measuring instrument are analyzed, respectively, from the aspects of optical circuit, circuit design and signal processing, etc. At the same time, the K-means clustering algorithm is applied to identify and extract the peak value of multi-group interference signal, which can effectively improve the precision of repeated measurement of the system. The designed system has the advantages of simple structure, fast measuring speed, and the measuring precision is better than 1 渭 m.
【作者单位】： 东华大学理学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(项目编号:51575099) 上海市自然科学基金资助项目(项目编号:15ZR1401700)
【分类号】：TH741

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本文编号：2291523