硅基微纳光学阵列元件的约束刻蚀加工的分析.pdf 全文免费在线阅读

  本文关键词：硅基微纳光学阵列元件的约束刻蚀加工研究，由笔耕文化传播整理发布。

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学校代码:10406分类号:TG146.2 学号:110080501012南昌航空大学硕士学位论文(学位研究生)硅基微纳光学阵列元件的约束刻蚀加工研究硕士研究生:肖顺导师:蒋利民教授申请学位级别:硕士学科、专业:材料物理与化学所在单位:材料科学与工程学院答辩日期:2014 年 6 月授予学位单位:南昌航空大学万方数据Study on the machining of micro-nanooptical array elements of Silicon by theCELTA DissertationSubmitted for the Degree of MasterOn Materials Physics and Chemistryby Shun XiaoUnder the Supervision ofProf. Liming JiangSchool of Material Science and EnginneeringNanchang Hangkong University, Nanchang, ChinaJune, 2014万方数据南昌航空大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明:所呈交的硕士学位论文,是我个人在导师指导下,在南昌航空大学攻读硕士学位期间独立进行研究工作所取得的成果。尽我所知,论文中除已注明部分外不包含他人已发表或撰写过的研究成果。对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体,均已在文中作了明确地说明并表示了谢意。本声明的法律结果将完全由本人承担。签名: 日期:南昌航空大学硕士学位论文使用授权书本论文的研究成果归南昌航空大学所有... 内容来自转载请标明出处.

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