三轴联动精密工作台设计与分析

发布时间：2019-04-16 19:48

【摘要】：三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构,以压电陶瓷直线电机作为驱动,由双对称滚珠直线导轨带动两托板在x、y两方向上微位移精密运动;以伺服电机和滚珠丝杠配合带动载物板在z方向上运动。研究影响工作台精度的主要原因,通过误差分析与测量建立了误差补偿模型。最终验证证明,通过误差补偿工作台达到了更高的定位精度,实现了平台设计的目标。
[Abstract]:The three-axis linkage precision working platform is the key part of the mechanical system of laser microscope. The working platform is multi-layer structure, driven by a piezoelectric ceramic linear motor, and driven by a double symmetric ball linear guide to drive the micro-displacement precision motion in x, y two directions. Servo motor and ball screw to drive the load plate in the z direction. The main reasons that affect the precision of worktable are studied. The error compensation model is established by error analysis and measurement. Finally, it is proved that the error compensation table can achieve higher positioning accuracy and achieve the goal of platform design.
【作者单位】： 南京工业大学机械与动力工程学院;
【分类号】：TH742;TH703

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：2459049