气动式微位移驱动器的结构设计及其性能分析
本文关键词:基于直线电机宏微双重驱动大行程精密定位台的研究,由笔耕文化传播整理发布。
全文:
(6389 KB)
输出: BibTeX | EndNote (RIS)
摘要 为便于精密机床的微进给控制,研究了一种新型的气压式微位移驱动器。根据微驱动器的工作原理,在简化模型的基础上,对驱动器进行了结构设计,用有限元方法分析了微驱动器与微驱动台的主要性能,并且采用实验验证了该设计的合理性。研究结果表明,该驱动器结构简单、可靠,具有良好的输入输出线性度,耦合位移很小,是一种良好的二维可控驱动方式,在精密加工与精密测量中有着广阔的应用前景。
服务
E-mail Alert
RSS
收稿日期: 2016-08-10
PACS: TH138
基金资助:国家自然科学基金(51275217)
作者简介: 张礼华(1974—),男,江西九江人,副教授,博士,主要从事机电液一体化方面的教学与科研工作。
引用本文:
张礼华, 王康, 王树林. 气动式微位移驱动器的结构设计及其性能分析[J]. 液压与气动, 2016,(12): 10-15.
ZHANG Li-hua, WANG Kang, WANG Shu-lin. Structure Design and Performance Analysis of Pneumatic Micro-displacement Actuator. CHINAESE HYDRAULIC & PNEUMATICS, 2016, (12): 10-15.
链接本文:
或
[1] 滕伟,柳亦兵,穆海华.光刻机工作台超精密运动与同步控制[J].机械工程学报,2011,47(11):185-190.
TENG Wei, LIU Yibing, MU Haihua. Ultra-precision Motion Control and Synchronization Control for Stage of Lithography [J]. Journal of Mechanical Engineering,2011,47(11):185-190.
[2] 牛童.气浮工作台性能研究 [D]. 洛阳: 河南科技大学,2012.
NIU Tong. Performance Study of Air Bearing Stage [D]. Luoyang: Henan University of Science and Technology,2012.
[3] LIN Xiujuan, ZHOU Kechao. Development Modeling and Application of Piezoelectric Fiber Composites [C]//Changsha: Transactions of Nonferrous Metals Society of China.2013,(23):98-107.
[4] 胡兵.基于直线电机宏微双重驱动大行程精密定位台的研究[D].广州:广东工业大学,2013.
HU Bing. Research on Macro/Micro Dual Drive Precision Positioning Stage Based on Linear Moroe [D]. Guangzhou: Guangdong University of Technology,2013.
[5] 刘定强,黄玉美,谢礼,等.压电型宏微双驱动精密定位系统点位协调控制[J].农业机械学报,2011,42(4):220-223.
LIU Dingqiang, HUANG Yumei, XIE Li, et al. Positioning Control of Piezoelectric Macro-micro Dual Drive [J]. Transactions of the Chinese Society for Agricultural Machinery,2011,42(4):220-223.
[6] 孟文宝.数字液压缸微进给控制技术研究[D].洛阳:河南科技大学,2013.
MENG Wenbao. Research on the Control Technology of Digital Hydraulic Cylinde’s Micro Feed [D]. Luoyang: Henan University of Science and Technology,2013.
[7] 刘亚杰,张立中.微位移角振动台柔性铰链静动力学分析[J].工业技术创新,2015,2(5):483-487.
LIU Yajie, ZHANG Lizhong. The Static and Dynamic Analysis of the Flexure Hinge of the Micro Displacement Angle Vibrator [J]. Industrial Technology Innovation,2015,2(5):483-487.
[8] 李亚川,李振辉,苏成志.倒圆角柔性铰链位移传动机构的设计和分析[J].长春理工大学学报(自然科学版),2014,37(5):19-23.
LI Yachuan, LI Zhenhui, SU Chengzhi. Design and Analysis of Compliant Transmissions Based Corner-filleted Flexure Hinge [J]. Journal of Changchun University of Science and Technology (Natural Science Edition),2014,37(5):19-23.
[1] 任立敏, 谭益松, 殷国成. 具有柔性传动能力的气压驱动微型管道机器人[J]. 液压与气动, 2016,(8): 18-23.
[2] 谭益松,, 任立敏, 张海波. 仿尺蠖式气压驱动管道清洁机器人的设计#br#[J]. 液压与气动, 2015,(03): 19-21.
[3] 张杰, 韩建海. 布鞋鞋帮收口机气压驱动系统设计#br#[J]. 液压与气动, 2015,(03): 109-112.
本文关键词:基于直线电机宏微双重驱动大行程精密定位台的研究,由笔耕文化传播整理发布。
本文编号:246231
本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/yiqiyibiao/246231.html