光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究
[Abstract]:In view of the control model and experimental analysis, PID control method based on BP neural network is proposed to control the positioning system of the grating scriber.
【作者单位】： 合肥师范学院电子信息工程学院;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系;长春光学精密机械与物理研究所;
【基金】：国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1) 安徽省自然科学基金(1308085QE92) 中央高校基本科研业务费专项资金(WK2090090010) 合肥师范学院人才基金(2013RCJJ04)资助
【分类号】：TH744.1
【参考文献】
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【共引文献】
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【二级参考文献】
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，本文编号：2497688
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