机械刻划纯铝侧向隆起规律试验
【参考文献】
相关期刊论文 前3条
1 张宝庆;史国权;石广丰;宋林森;;机械刻划光栅多层复合铝薄膜微结构及力学性能分析[J];长春理工大学学报(自然科学版);2012年04期
2 张宝庆;史国权;石广丰;蔡洪彬;张善文;;衍射光栅机械刻划成槽的预控试验[J];光学精密工程;2013年07期
3 石广丰;史国权;徐志伟;刘哲;蔡洪彬;张宝庆;;中阶梯光栅铝膜的大压深纳米压痕试验[J];机械工程学报;2012年20期
【共引文献】
相关期刊论文 前10条
1 史国权;刘萌;石广丰;宋林森;;延伸角锥刀刻划衍射光栅过程金属流动规律的数值模拟研究[J];长春大学学报;2011年02期
2 吴迪;齐向东;车英;郭林炀;;干涉法在光栅波前检测中的应用研究[J];长春理工大学学报(自然科学版);2011年02期
3 孙艳玲;谢铁邦;;一维计量型微位移工作台的研究[J];传感器世界;2006年03期
4 刘莉;;光栅应用发展现状[J];长沙大学学报;2009年05期
5 孙艳玲;谢铁邦;;激光干涉接触式轴承表面轮廓综合测量[J];轴承;2006年04期
6 李四华,吴亚明,韩晓峰;改善MEMS闪耀光栅衍射效率的研究[J];光电工程;2004年05期
7 印勇;陈梨;田逢春;;利用光栅闪耀特性优化低通滤波器[J];光电工程;2006年09期
8 闫许;黄尚廉;张洁;张智海;付红桥;陈伟民;;反射镜平动式光栅光调制器光学分析与仿真[J];光电工程;2006年10期
9 黄早珊;金雪梅;李小龙;欧阳敏;吕晓旭;;平面变间距光栅的夫琅禾费衍射场分析[J];光电技术应用;2010年05期
10 倪坤;孙鹏;冯艳秋;;刻划光栅中刻划刀的刃口半径影响研究[J];工具技术;2010年12期
相关博士学位论文 前10条
1 钟俊;宏观尺度的纳米级定位控制技术研究[D];中国科学技术大学;2011年
2 孟凡涛;纳米光刻技术及其在三端结器件和纳米光栅偏振器中的应用[D];大连理工大学;2011年
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4 于海利;基于双频激光干涉测量的大行程纳米定位技术及其应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
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7 时轮;一种亚纳米级栅距变化量的变栅距光栅分度控制方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
8 任雪畅;基于全息菲涅耳透镜的波分复用光通信器件[D];厦门大学;2004年
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【二级参考文献】
相关期刊论文 前10条
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2 李英海;超精密金刚石刀具──衍射光栅刻划刀[J];光学精密工程;1996年03期
3 李志海;周上祺;任勤;石泉;邱绍宇;李聪;;镀层厚度的X射线衍射法测量[J];核动力工程;2006年03期
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8 霍德鸿,梁迎春,程凯,董申;基于原子力显微镜和分子动力学的纳米压痕技术研究[J];机械工程学报;2004年06期
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【相似文献】
相关期刊论文 前4条
1 闫永达;孙涛;董申;;利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构[J];传感技术学报;2006年05期
2 张宝庆;史国权;石广丰;蔡洪彬;;衍射光栅机械刻划工艺理论分析与实验研究[J];中国机械工程;2014年01期
3 邹自强;;0.2秒圆刻机的基本原理[J];光学机械;1983年02期
4 ;[J];;年期
相关会议论文 前4条
1 董申;闫永达;孙涛;;微探针机械刻划纳米加工技术[A];2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会论文集[C];2006年
2 熊祥玉;;光栅掩膜版的机械刻划与CAD/激光光绘系统评析[A];中国电子学会生产技术学会机械加工专业委员会第五届学术年会论文集(中)[C];1992年
3 闫永达;孙涛;董申;梁迎春;程凯;;AFM加工中材料去除机理研究[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
4 郭剑;余丙军;钱林茂;;摩擦诱导纳米结构的溶液刻蚀研究[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
相关硕士学位论文 前4条
1 吕杨杨;光栅机械刻划颤振机理的研究[D];长春理工大学;2014年
2 张垒垒;中阶梯光栅机械刻划工艺参数优化研究[D];长春理工大学;2012年
3 杨帆;基于AFM的纳米机械刻划切屑形成过程试验研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
4 庄昀;基于RIE与AFM机械刻划的纳米结构加工实验研究[D];哈尔滨工业大学;2014年
,本文编号:2570065
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