亚表面损伤测量技术中全内反射粗定位系统的研究
发布时间：2020-02-05 08:07
【摘要】：光学元件的亚表面损伤严重影响着光学系统的抗激光损伤阈值和大型光学系统的成像及镀膜质量、系统的长期稳定性,很大程度上制约了能源、军事、航天等高新技术科研领域的发展。因此,对光学元件亚表面损伤的控制成为相关领域一项至关重要的技术。传统光学对亚表面损伤问题的关注极少,随着入射光源能量的不断提升,尤其在高功率激光领域,亚表面裂纹的控制才能越来越受人们的关注。本文研究了基于光的全内反射原理获得光学元件亚表面损伤信息的一种测量方法。首先分析了照明光源的偏振状态对亚表面损伤点的偶极子散射特性,研究了全内反射角的变化对偶极子散射的影响,讨论了亚表面裂纹情况下,裂纹和S偏振光之间夹角与相对散射功率之间的关系,通过Matlab软件的仿真模拟出了参量之间的关系。其次通过原理的分析和公式推导得到全内反射粗定位系统关键部件的设计：一是对照明系统光路的设计；二是对显微成像系统中渥拉斯顿棱镜、诺马斯基棱镜的设计,确定了渥拉斯顿棱镜的楔角、厚度等参数关系,模拟仿真了诺马斯基棱镜光轴倾角、楔角、厚度、相干平面出离量等参数之间的关系。最后装调实验装置并观察样品的表面及亚表面状况。
【图文】：
美国国家点火装置(NIF)结构示意图
逦Ｃ＝ｙ邋—逡逑ｉｉｌＡＭ＊ｒ邋ｏ？ｃＨｌ＊ｉ0ｆ逡逑图１．１美国国家点火装置（ＮＩＦ）结构示意图逡逑ｒｉ邋f清义希ǎ幔╁挝义贤迹保部占渫毒担海ǎ幔┕胝材匪箍占渫毒抵鞣瓷渚担唬ǎ猓┱材匪雇毒靛义希保补谕夥⒄瓜肿醇扒魇棋义希保玻毖潜砻嫠鹕瞬礤义希ǎ保┐蛹庸げ忝娣治鲥义瞎庋г饕怯纱嘈圆牧霞庸ざ桑由阶钪盏呐坠夤谈丛樱扛霾街桢义系目刂坪苣寻盐铡Ｔ诠庋г谐＜潜砻嫠鹕耍ㄈ缈昭ā⒘盐啤⒒邸⒉杏嘤α湾义霞性游锏龋┦遣豢杀苊獾模潜砻嫠鹕艘话惴植荚诒砻嫦录赴倌擅字良赴傥⒚追段冢义嫌擅拦吐姿估ツ笛槭业难潜聿憷砺勰Ｐ涂芍庋г砻娼峁狗治海ǎ保╁义吓坠獠悖疃然保浚桑穑恚饕谠坠饨锥涡纬桑唬ǎ玻┤毕莶悖疃仍冢欤保埃埃蓿欤碇麇义弦谠心ゼ庸そ锥涡纬桑海ǎ常┍湫尾悖疃仍冢保埃埃玻埃埃蓿恚椋饕谠尚徒族义隙涡纬桑ǎ矗┕庋Р牧媳咎濉９恃潜砻嫠鹕说闹氐悴饬渴嵌陨疃龋欤浚保埃埃蓿恚榈娜毕莶沐义系牟饬浚簦矗担祝福臁Ｔ诠庋г潜砻嫠鹕说募嗫刂校钪匾氖嵌匝心ソ锥蔚乃鹕私绣义喜饬
本文编号：2576594
【图文】：
美国国家点火装置(NIF)结构示意图
逦Ｃ＝ｙ邋—逡逑ｉｉｌＡＭ＊ｒ邋ｏ？ｃＨｌ＊ｉ0ｆ逡逑图１．１美国国家点火装置（ＮＩＦ）结构示意图逡逑ｒｉ邋f清义希ǎ幔╁挝义贤迹保部占渫毒担海ǎ幔┕胝材匪箍占渫毒抵鞣瓷渚担唬ǎ猓┱材匪雇毒靛义希保补谕夥⒄瓜肿醇扒魇棋义希保玻毖潜砻嫠鹕瞬礤义希ǎ保┐蛹庸げ忝娣治鲥义瞎庋г饕怯纱嘈圆牧霞庸ざ桑由阶钪盏呐坠夤谈丛樱扛霾街桢义系目刂坪苣寻盐铡Ｔ诠庋г谐＜潜砻嫠鹕耍ㄈ缈昭ā⒘盐啤⒒邸⒉杏嘤α湾义霞性游锏龋┦遣豢杀苊獾模潜砻嫠鹕艘话惴植荚诒砻嫦录赴倌擅字良赴傥⒚追段冢义嫌擅拦吐姿估ツ笛槭业难潜聿憷砺勰Ｐ涂芍庋г砻娼峁狗治海ǎ保╁义吓坠獠悖疃然保浚桑穑恚饕谠坠饨锥涡纬桑唬ǎ玻┤毕莶悖疃仍冢欤保埃埃蓿欤碇麇义弦谠心ゼ庸そ锥涡纬桑海ǎ常┍湫尾悖疃仍冢保埃埃玻埃埃蓿恚椋饕谠尚徒族义隙涡纬桑ǎ矗┕庋Р牧媳咎濉９恃潜砻嫠鹕说闹氐悴饬渴嵌陨疃龋欤浚保埃埃蓿恚榈娜毕莶沐义系牟饬浚簦矗担祝福臁Ｔ诠庋г潜砻嫠鹕说募嗫刂校钪匾氖嵌匝心ソ锥蔚乃鹕私绣义喜饬
本文编号：2576594
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/yiqiyibiao/2576594.html
