干涉仪系统传递函数的新测量方法研究

发布时间：2020-02-26 02:53

【摘要】：高功率固体激光装置中所使用光学元件的中频段小尺度制造误差将严重影响整个光学系统的性能。目前,光学元件中频误差主要用干涉仪来测量,而评价干涉仪系统本身性能的基本量是系统的传递函数。现有的干涉仪系统传递函数主要用标准台阶相位比较法测量,此法需要一块高精度台阶板。首先,根据干涉仪系统传递函数的测试原理,制定了台阶相位比较法测量干涉仪系统传递函数的实验方案,编写计算程序,测试了不同型号干涉仪的系统传递函数。另外分析了实验过程中不同截取波前大小、调焦程度和干涉腔的距离对传递函数测量结果的影响。其次,提出了两种测量干涉仪系统传递函数的新方法,镀膜台阶法和条纹法,其中镀膜台阶法基于台阶相位比较法,创新地提出了运用镀膜的方法来制作高精度台阶板,此法方便快捷,能克服国内制作台阶板技术的短缺；条纹法则通过调节条纹数量来确定频率,利用调制度的比值来表征不同频率对应的传递函数的大小,此法不需要制备台阶板,大大降低了测试成本,尤其适用于计算大口径干涉仪的系统传递函数。两种新方法与传统的台阶相位比较法测量传递函数结果相差均不超过5%,证实了新方法的可行性。最后,由于强激光系统中的光学元件具有体积大的特点,因此,如何测量大口径干涉仪的系统传递函数是当今研究的热点。本文利用等晕区法和条纹法近似测量了600mm口径干涉仪的系统传递函数,对大口径干涉仪传递函数的测量有较强的借鉴意义。
【学位授予单位】：南京理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2016
【分类号】：TH744.3

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