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全反射傅里叶变换光谱仪微型化关键技术研究

发布时间:2020-06-16 07:03
【摘要】:全反射傅里叶变换光谱仪,即一种采用无透射元件的全反射结构傅里叶变换光谱仪。与非全反射傅里叶变换光谱仪相比,全反射傅里叶变换光谱仪不受限于材料透过率,可应用于整个光谱区,故全反射傅里叶变换光谱仪具有重要的应用价值。同时,20世纪末期,随着科技的发展以及微制造技术的进步,光谱仪器的微小型化也成为了研究的热点。因此,本文对全反射傅里叶变换光谱仪微型化的关键技术进行了研究。包括“无焦面反射镜近场测量技术”,“弱光检测能力提升技术”和“干涉场光强分布采集驱动技术”等。首先,对无焦面反射镜近场测量技术进行了研究。通过分析全反射傅里叶变换光谱仪的波长定标技术,引出了无焦面反射镜近场测量的非线性问题。通过建立“等光程差双曲线族模型”,对无焦面反射镜近场测量的非线性问题进行了分析,进而提出“多像素抽减法”的技术解决方案。仿真实验表明,光谱仪的测量误差指标可达III级(国家计量标准JJG 178-2007《分光光度计检定规程》)。其次,对弱光检测能力提升技术进行了研究。光路分析表明,全反射傅里叶变换光谱仪从入射狭缝出射的光能有一半被无形中浪费了。本文对菲涅尔双面镜结构进行了改进,性能分析表明,改进后的光谱仪光能利用率提高了一倍。仿真实验表明,光谱可测量范围在长波方向扩大了一倍,弱光检测能力提升了一倍。最后,对干涉场光强分布采集驱动技术进行了研究。通过对采集驱动方法进行分析与比较,本文采用CPLD驱动法。对采集驱动的电路进行了设计和制作,对相关程序进行了编程和调试。实验测试结果表明,本文所编译的驱动程序满足驱动要求。本文工作,为实现全反射傅里叶变换光谱仪的微型化提供了基础。
【学位授予单位】:安徽工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2016
【分类号】:TH744.1
【图文】:

全反射光谱,反射光栅,光路图


图 1.1 一种反射光栅型全反射光谱仪的光路图谢炜等人[10]基于光栅分光对切尔尼-特纳(Czerny-Turner)全反射结构究。通过狭缝的待测光经准直处理在衍射光栅处色散分离后到达凹面镜再被光强采集元件采集。利用汞灯作为测试光源,若狭缝宽度为 30μ

双面镜,海洋光学,全反射,结构光


海洋光学系列光谱仪(2)菲涅耳双面镜型全反射结构光谱仪

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本文编号:2715711

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