SiC主镜气压主动支撑中硬点定位机构设计研究
【学位授予单位】:中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2019
【分类号】:TH743
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本文编号:2718543
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