封装胶的不均匀性对微加速度计零位温漂的影响研究

发布时间：2020-06-18 23:30

【摘要】：电容式微加速度计具有检测灵敏、结构简单、易于集成等显著优点,在各种传感器中电容式微加速度计发展最快而且商业应用最广。工作温度的变化导致微加速度计的零位温漂严重影响加速度计的检测精度,制约其应用于高端精密领域。在施胶过程中,粘接胶的不均匀性及空洞等将不可避免的发生,工作温度的变化导致微加速度计结构产生非对称性的热应力及热变形,从而产生零位输出和零位温漂。随着对检测精度要求越来越高,粘接胶的不均匀性对微加速度计零位温漂的影响不能忽略。国内外对粘接胶不均匀性对微加速度计零位温漂的研究非常少,因此研究粘接胶的不均匀性对微加速度计的影响具有重要的工程意义。本文主要内容为:1.简化电容式微加速度计为三层结构,通过理论推导了中间层均匀三层结构玻璃上表面的轴向位移变形,以及中间层不均匀三层结构粘接层与玻璃接触处的轴向位移和切应力,并与有限元仿真分析进行对比。通过仿真分析粘接胶不均匀对微加速度计零位温漂的影响,零位温漂并不是随着粘接胶倾斜角度变化呈线性变化。另外还分析在粘接胶不均匀性下折叠梁不对称对微加速度计零位温漂的影响,此时折叠梁不对称性对微加速度计零位温漂的影响显著。2.分析粘接胶不均匀性下粘接胶中空洞位置分布及空洞大小对微加速度计零位输出的影响,空洞在不同位置对微加速度计零位输出不同;当空洞位于粘接胶左右两侧对称分布时,左右两侧的零位输出规律相同,但空洞位于粘接胶厚度较小一侧零位输出数值越大;空洞大小的变化对微加速度计零位输出影响比较复杂,空洞位于支撑折叠梁的锚点相对应粘接胶处对微加速度计零位输出比较敏感。3.分析粘接胶弹性模量不同对微加速度计零位输出的影响,考虑了粘接胶不均匀、粘接胶不均匀及折叠梁不对称、粘接胶不均匀及空洞三种情形。粘接胶弹性模量不同使得微加速度计结构变形不同,导致微加速度计零位输出。
【学位授予单位】：电子科技大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2017
【分类号】：TH824.4

【参考文献】

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本文编号：2719981