波前像差评价自由曲面镜片的方法研究
【学位单位】:中国计量大学
【学位级别】:硕士
【学位年份】:2018
【中图分类】:TH74
【部分图文】:
为一种特殊的自由曲面镜片,如图视近区、渐进区和周边区,具有传统镜片无法同时视远及视近的作为研究对象来评价自由曲面镜,其发展可追溯到 1907 年的英国1910 年加拿大的 Henry Orford G件限制,未获得成功。1959 年法展,研制出了第一副真正适合临点镜片的实际应用和发展[7]。
件来减少空气扰动的影响,此外还需要提供一片与被测镜片口径相同的高大尺寸反射镜,检测成本高、制造技术复杂。子孔径拼接检测技术是当前较为成熟的一种检测技术,在大口径光学平面、非球面等光学检测领域具阔的应用前景。利用测量动态范围较大、受空气扰动影响较小的 H-S 波前器,通过小口径反射镜代替大的标准反射镜的子孔径拼接检测技术能够实较大口径光学镜片的波前像差测量。 哈特曼-夏克波前传感器的测量原理H-S 波前传感器具有测量动态范围较大、受空气扰动影响较小、工作无需光源等优点[25-27],而且对于工作环境要求较低,适应能力强,是目前高精前测量中广泛使用的仪器。1 H-S波前传感器的工作原理CCD 探测器光斑质心分布微透镜阵列
的子孔径拼接检测原理如图 2.3 所示测量大口径渐进多焦点镜片时两次相 在 区 域 重 叠 , 对 应 的 相 位 分 0 0x ,y 是两个测量子孔径坐标系的重叠区域内相位分布应保持一致,但镜片的移动误差必定使得两次测量得叠区域的两次检测结果无法完全一量数据进行最小二乘法拟合,能够得相同面上的两个子孔径波面统一到的拼接方法,依次可得到整片渐进多
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本文编号:2829264
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