子孔径拼接干涉检测非球面光学元件

发布时间：2017-04-03 18:03

  本文关键词：子孔径拼接干涉检测非球面光学元件，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】： 随着光学技术的不断发展,非球面光学元件以其优越的光学特性被应用于多个领域,然而非球面光学元件在加工和检测方面存在的困难一定程度上影响了其广泛应用。环形子孔径拼接检测技术是一项新的光学测试技术,拓展了干涉仪的测试范围,给大口径非球面的高精度检验提供了有效手段,其关键技术在于子孔径的划分、孔径数目的计算和子孔径拟合拼接的数据处理方法。 首先介绍了非球面光学元件和环形子孔径拼接技术,结合非球面光学元件的光学特性建立了适用的环形子孔径拼接模型,在此基础上推导了孔径计算的相关公式,并通过构造不同情况的算例分析了影响拼接精度和拼接效率的子孔径划分模式、孔径边缘数值的问题。其次对拼接算法中的串、并行拼接进行了讨论,选取了合适的拼接算法模式及拼接目标函数,构造了拼接程序编写的思想。接着通过对环形子孔径拼接模型进行仿真,验证了环形子孔径拼接的可行性,详细地分析了影响拼接精度的多种误差因素,给出了降低误差的解决方法,并提出了对现有实验平台进行改造的技术要求。
【关键词】：非球面光学元件 环形子孔径拼接 拼接模型 子孔径划分模式 拼接精度
【学位授予单位】：南京理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2008
【分类号】：TH74
【目录】：

• 摘要3-4
• Abstract4-7
• 1 绪论7-10
• 1.1 课题的研究背景7-9
• 1.2 论文的主要研究工作9-10
• 2 非球面光学元件10-21
• 2.1 国内外非球面零件的超精密加工技术的现状10-13
• 2.1.1 非球面零件超精密切削加工技术10-11
• 2.1.2 非球面零件超精密磨削加工技术11-12
• 2.1.3 非球面零件超精密抛光技术12-13
• 2.1.4 非球面零件复制技术13
• 2.2 非球面光学元件的分类13-14
• 2.2.1 按非球面对称轴数目分类13-14
• 2.2.2 按外形尺寸分类14
• 2.2.3 按制造精度分类14
• 2.3 二次非球面的分析14-20
• 2.3.1 二次非球面的数学表达式14-15
• 2.3.2 二次曲线的光学特性15-18
• 2.3.3 最接近比较球面18-20
• 2.4 非球面的选择20-21
• 3 子孔径拼接21-28
• 3.1 子孔径拼接的概述21-23
• 3.2 子孔径拼接的分类23-25
• 3.2.1 圆形子孔径23-24
• 3.2.2 矩形子孔径24-25
• 3.2.3 环形子孔径25
• 3.3 子孔径拼接的原理25-26
• 3.4 子孔径拼接的应用26-27
• 3.5 子孔径的选择27-28
• 4 环形子孔径拼接28-50
• 4.1 环型子孔径的划分28-34
• 4.1.1 划分的数学模型28-33
• 4.1.2 影响子孔径划分几个的因素33-34
• 4.2 子孔径数目的确定34-36
• 4.3 算例分析36-43
• 4.4 拼接算法的研究43-48
• 4.4.1 拼接模式43
• 4.4.2 串行拼接43-45
• 4.4.3 多孔径拼接45-46
• 4.4.4 局部均化误差46-47
• 4.4.5 拼接算法程序47-48
• 4.5 实验平台的技术要求48-50
• 5 实验模拟和误差分析50-58
• 5.1 实验模拟50-55
• 5.2 误差分析55-58
• 5.2.1 测量误差55-57
• 5.2.2 模型误差57
• 5.2.3 拼接误差57-58
• 总结58-59
• 致谢59-60
• 参考文献60-63
• 附录63

【引证文献】

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 骆永洁;非球面部分补偿干涉检测方法的误差分析及系统优化研究[D];浙江大学;2011年

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本文编号：284727