ITO导电玻璃光学检测中气浮系统参数优化

发布时间：2020-12-03 05:09

　　气浮支承由于具有均化误差、无污染及寿命长等优点越来越广泛应用于支承ITO导电玻璃等精密零部件。随着导电玻璃尺寸大型化及厚度轻薄化,导电玻璃的在线运输及光学检测对气浮支承提出了越来越高的要求。本文基于气体润滑及板壳变形理论,针对ITO导电玻璃气浮传输系统参数优化问题,完成了以下研究工作:(1)基于气体润滑理论建立了气浮系统中气膜面上的压力分布方程;基于有限差分建立了连续气浮力作用下导电玻璃小挠度弯曲的数学模型;(2)对不同供气模式及不同负压进气孔排布方式下的气膜流场特性进行了分析;以有限差分法计算了3种进气孔间距下导电玻璃挠度值并与Ansys结果进行比较,并结合不同进气孔间距下的气浮性能,设定了进气孔间距的合理范围。(3)在单元优化的基础之上对气浮系统整体进行三维建模,利用Fluent及Ansys workbench单向流固耦合模块,详细分析了气浮间隙、节流管道长度及气腔半径改变对气浮性能、消耗的气体质量流量及导电玻璃小挠度弯曲变形的影响,综合多方面考虑给出了气浮间隙、节流管道长度及气腔半径参数的合理取值范围。(4)结合理论分析及仿真优化结果,在导电玻璃模态分析的基础上给出了导电玻璃稳态... 

【文章来源】：合肥工业大学安徽省 211工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：80 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

气浮支承种类

图 1.1 气浮支承种类Fig 1.1 Types of air bearing体轴承理论越来越成熟，相较于传统的滚轮传输，静压型气浮、无污染、精度高及承载能力强等优点已较为普遍地应用于多的来源项目正是采用静压型气浮支承方式支承导电玻璃用于光原理如图 1.2 所示，压缩气体由供气通道进入气浮板经节流通玻璃与气浮板之间的间隙形成气膜，当气膜承载力能平衡掉导到支承效果。导电玻璃尺寸大型化及厚度轻薄化使得即使在高下也易发生变形甚至破损，从而导致次品产生及影响检测的后测精度以及传输过程稳定性，就需要对气浮系统进行优化设计果。

法和摄动法的计算结果，证明了数括 4 种传输方式，分别为磁力式传。磁力式传输利用磁力之间相互吸引磁性，且易造成磁污染，甚至对人所要支承的工件重力，其缺点为承使用；超声波传输主要是利用超声本较高，平常维护起来也比较困难承起工件，其缺点也是承载力较低承载力有所提高，可以用来承载较玻璃基板传输的主要方式之一。针制造了基于气浮支承的大型玻璃基 公司及美国 New WayAir Bearings璃基板气浮传输仪器如图 1.3 所示[3


本文编号：2896042