微纳米三坐标测量机软件开发及其系统测试
发布时间：2021-01-07 05:55
近年来三维微纳米测量技术受到了很大关注。由于超精密加工技术的迅速发展,出现了很多微尺寸构件,精密光学器件等零部件,它们的加工精度要求在微米和亚微米级别,这就要求检验这些零部件的三维测量设备的测量精度要在亚微米以下。基于当前的环境下,具有微纳米级精度的微纳米三坐标测量机由此而生。在原来实验室三坐标测量机程序模块的基础上,本论文对程序的改进工作如下:（1）之前的软件运动控制算法没有优化好导致机台运动过程中软件有时会出现报错现象,这样对软件稳定性造成一定影响,这个问题非常影响实验的进行。首要解决软件的稳定性问题,采用常规PID控制机台运动.通过合适的参数,准确的控制AB2驱动器,使机台最后达到微纳米级精度的定位。（2）完成SIOS激光干涉仪位移和各轴位移的比较程序,通过直线拟合的方法消除定位误差,提高了测量精度。同时之前机台软件的测量功能比较单一,只能测量Z轴方向的阶高和平面度。目前添加了X、Y轴方向上的厚度和平面度程式,对软件测量功能进一步开发。（3）为提高测试效率,开发了机台自动化测量程序。合理规划好测量路径,一次实验可以计算出X、Y和Z轴三轴方向上的平面度、阶高和厚度结果。（4）完成编...
【文章来源】：合肥工业大学安徽省 211工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：69 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
测量领域划分
图 1.2 传统三坐标测量机与微纳米三坐标测量机的比较Fig 1.2 The comparison of Conventional CMM and Nano-CMM英国国家物理实验室 National Physical Laboratory(NPL)[5,6]也在三坐标测量机研究领域有着重大贡献，其设计出来的特殊小型的三坐标测量机(Small CMM)如下图 1.3 所示，该测量机具备传统的三坐标测量机的功能，即在进行测量时工件台保持不动，通过探头座实现三轴的运动，它的测量行程为 50 x 50 x 50 mm3，测量不确定度< 50 nm,并且该机台的探头方便拆卸。
1.2 传统三坐标测量机与微纳米三坐标测量机的比较.2 The comparison of Conventional CMM and Nano-CM实验室 National Physical Laboratory(NPL)[5,6]也贡献，其设计出来的特殊小型的三坐标测量机(量机具备传统的三坐标测量机的功能，即在进头座实现三轴的运动，它的测量行程为 50 x 50 且该机台的探头方便拆卸。
本文编号：2962040
【文章来源】：合肥工业大学安徽省 211工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：69 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
测量领域划分
图 1.2 传统三坐标测量机与微纳米三坐标测量机的比较Fig 1.2 The comparison of Conventional CMM and Nano-CMM英国国家物理实验室 National Physical Laboratory(NPL)[5,6]也在三坐标测量机研究领域有着重大贡献，其设计出来的特殊小型的三坐标测量机(Small CMM)如下图 1.3 所示，该测量机具备传统的三坐标测量机的功能，即在进行测量时工件台保持不动，通过探头座实现三轴的运动，它的测量行程为 50 x 50 x 50 mm3，测量不确定度< 50 nm,并且该机台的探头方便拆卸。
1.2 传统三坐标测量机与微纳米三坐标测量机的比较.2 The comparison of Conventional CMM and Nano-CM实验室 National Physical Laboratory(NPL)[5,6]也贡献，其设计出来的特殊小型的三坐标测量机(量机具备传统的三坐标测量机的功能，即在进头座实现三轴的运动，它的测量行程为 50 x 50 且该机台的探头方便拆卸。
本文编号：2962040
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