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宽谱段高分辨扫描光谱定标技术

发布时间:2021-02-24 04:38
  为了满足原子发射光谱仪在紫外至近红外宽谱段范围内的高光谱分辨率快速检测需求,采用精密角位移平台直接驱动光栅,配合面阵探测器,实现高精度光谱分段快速扫描探测。但在扫描过程中,探测器像元波长增量与光栅转角呈非线性关系,且不同像元的波长增量不同,这对该光谱仪波长定标造成障碍。为校正光栅色散的非线性,基于光栅方程精确计算光栅转角与探测器首尾两端像元波长的映射关系,针对同一光栅转角,探测器其余像元波长利用首尾像元波长按照局部线性色散规律计算得到,从而完成全谱段光谱定标。依据定标所得转角与探测波段对应关系依次驱动光栅转动,实现宽谱段范围内的分段高精度光谱快速扫描探测。利用汞灯光源对该定标方法的波长检测精度进行检验,在200~800 nm的宽谱段范围内,波长准确度优于0.018 nm,波长重复性优于0.001 nm。 

【文章来源】:中国光学. 2020,13(02)北大核心

【文章页数】:9 页

【部分图文】:

宽谱段高分辨扫描光谱定标技术


波长定标函数及正弦拟合

光谱图,汞灯,光谱,波长


为进一步对定标结果进行检验,采用HG-1汞氩灯作为定标光源,依据定标结果,对其在200~800 nm波段光谱进行扫描探测,积分时间设置为2 s,全谱段扫描所需时间为231 s,扫描探测结果如图6所示。表2 波长精度测试结果Tab.2 Wavelength accuracy test results (nm) 标准波长 测试波长一 测试波长二 测试波长三 波长准确度 波长重复性 253.652 253.655 253.655 253.655 0.003 <0.001 404.656 404.675 404.674 404.674 0.018 0.001 546.074 546.091 546.091 546.091 0.017 <0.001 576.96 576.967 576.967 576.967 0.007 <0.001 763.511 763.515 763.515 763.515 0.004 <0.001 800.616 800.62 800.62 800.62 0.004 <0.001

光谱图,光谱,光栅,探测器


图1为宽谱段光栅直驱分段光谱扫描系统的原理设计图。它主要由入射狭缝、滤光片切换系统、光栅色散扫描系统、数据采集及信号处理系统等组成。入射光信号被狭缝调制后经准直反射镜准直,平行照射光栅进行色散,不同波长的光信号被聚焦反射镜聚焦成像于探测器像面不同像元处。受探测器尺寸限制,在宽谱段高分辨率光谱色散系统中,单一探测器很难满足全谱段探测需求,因此通过精密角位移平台旋转光栅,进而改变探测器平面上的波段范围,通过逐段扫描的方式实现宽波段内高分辨率探测,在光谱逐段扫描过程中,动态切换入射狭缝后方的带通滤光片,以消除光栅色散的二级光谱。探测器采集各波段光谱信号后,经过滤噪、基线校正等信号处理过程后通过拼接获得全谱段的光谱信号。

【参考文献】:
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本文编号:3048797

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