电磁辅助压电致动器设计开发与性能测试研究

发布时间：2021-03-01 10:26

　　传统的压电致动器,受限于压电致动的小行程,通常只能测量较小的范围。研发了一种电磁辅助压电致动器,同时具备电磁式致动器长行程与压电式致动器高分辨率的特点,该致动器包含可动件、导引槽、挠性件、电磁铁、压电元件以及控制电路。首先调整挠性可调预压装置并设定电磁铁电流,使得电磁致动力处于最大静摩擦力与动摩擦力之间;再利用压电组件所产生的微震动,控制可动件与导引槽之间的接触情况在静摩擦与动摩擦之间切换,从而完成长行程（10 mm）且高分辨率（1.5μm）的往复运动。实验结果表明该致动器具备出色的定位能力。 

【文章来源】：计量学报. 2020,41(07)北大核心

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 引言
2 致动器原理
    2.1 致动器设计
    2.2 系统设计
        2.2.1 数据采集
        2.2.2 激光位移传感器
3 实验分析
    3.1 调整输入方波的频率、脉冲宽度测试
    3.2 速度测试
    3.3 定位控制测试
    3.4 共振频率测试
    3.5 拉力测试
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
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本文编号：3057350