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点源自准显微镜设计与样机研制

发布时间:2021-03-02 13:30
  在球面和非球面反射镜光学系统装调过程中,元件曲率中心位置的准确定位是实现精准装配的难点之一。本文设计和研制适于解决此技术难点的点源自准显微镜。该仪器基于球面波自准直原理,具备快速定位曲率中心位置、检测曲率中心的偏移程度、获取星点图像判断像差特性等适于指导装调的功能,具有成本低、体积小、易对准、灵活度高以及多功能等优点。本工作着重于点源自准显微镜光学系统设计和样机研制,主要包括:首先,阐述点源自准显微镜的组成和测量原理,分析其主要性能参数与筒镜焦距、显微物镜倍数和探测器像元大小的关系,并给出确定点源自准显微镜角分辨率、对心分辨率、测量范围等性能指标的方法与例子。接着,设计由透射式自准直系统和科勒照明系统构成的点源自准显微镜光学系统。开发图像采集软件,完成点源自准显微镜原理样机研制和性能测试。测试结果表明样机的角分辨率和对心分辨率分别达到了 1.79”和0.086 μm。通过光机结构集成设计,研制的样机还具有体积小、可便携等特点。作为应用实例,利用所研制的点源自准显微镜原理样机装调凸面光栅Offner分光成像系统,验证了样机的功能,装调结果表明Offner分光成像系统两块离轴凹面反射镜的曲... 

【文章来源】:苏州大学江苏省

【文章页数】:62 页

【学位级别】:硕士

【部分图文】:

点源自准显微镜设计与样机研制


图1-2点源自准显微镜光路图与实物图??2??

曲率图,点源,显微镜,曲率


点源自准显微镜设计与样机研制?第一章绪论??2005年,R.E.Parks利用点源自准显微镜完成图1-3所示离轴望远系统的校准[5]。??主镜为离轴双曲面,采用标准小球和点源自准显微镜分别定位双曲面的两个焦点位置。??M??图1-3离轴望远系统[5]??2007年,R.?E.?Parks利用两台点源自准显微镜分别检测单透镜两个表面的曲率??中心,完成了透镜的定心[6],检测光路如图1-4所示。??44??」i??分束镜^??前表面曲率中心^^??旋转台一>?-??后表面曲率中心?4??图1-4透镜定心检测光路图[6]??2008年,美国亚利桑那大学William?P.Kuhn基于点源自准显微镜提出了一种波??前曲率波前检测方法,该方法利用二次扭曲光栅得到前后离焦面上的光强分布,根据??光强分布求得波前曲率和相位分布[7]。??3??

光强分布,显微镜,点源,曲率


点源自准显微镜设计与样机研制?第一章绪论??2005年,R.E.Parks利用点源自准显微镜完成图1-3所示离轴望远系统的校准[5]。??主镜为离轴双曲面,采用标准小球和点源自准显微镜分别定位双曲面的两个焦点位置。??M??图1-3离轴望远系统[5]??2007年,R.?E.?Parks利用两台点源自准显微镜分别检测单透镜两个表面的曲率??中心,完成了透镜的定心[6],检测光路如图1-4所示。??44??」i??分束镜^??前表面曲率中心^^??旋转台一>?-??后表面曲率中心?4??图1-4透镜定心检测光路图[6]??2008年,美国亚利桑那大学William?P.Kuhn基于点源自准显微镜提出了一种波??前曲率波前检测方法,该方法利用二次扭曲光栅得到前后离焦面上的光强分布,根据??光强分布求得波前曲率和相位分布[7]。??3??

【参考文献】:
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[4]大视场光电准直仪的准直测量精度研究[D]. 白建明.西安电子科技大学 2010
[5]提高光电自准直仪分辨率及精度的研究[D]. 吴文明.中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所) 2007



本文编号:3059346

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