气体流量装置的能力提升及微小音速喷嘴流出特性研究

发布时间：2021-04-17 03:54

　　随着半导体、医药、化工、环境以及航天事业的不断发展,测量微小气体流量的准确度要求越来越高,各种微小流量计发展迅猛。在各种微小气体流量计中,微小音速喷嘴因无可动部件、准确度水平高、重复性好及流量不受下游条件干扰等优点,在国内外气体流量计量领域,广泛将音速喷嘴作为标准表对其它类型的流量计进行校准和量值传递。近年来,喉部直径小于1 mm的微小音速喷嘴的应用越来越多,但其几何形状很难满足国际标准ISO 9300:2005中标准音速喷嘴的结构要求,标准中音速喷嘴流出特性的经验公式并不适用,必须通过上一级标准装置对微小音速喷嘴进行准确校准,才能保证量值准确一致。目前,国内适用于微小气体流量的原级标准装置较少,作为我国最高法定计量机构,国家计量院将pVTt法气体流量装置作为原级标准装置使用,承担着国内超过80%的音速喷嘴的准确校准和量值溯源任务,流量下限为1 m³/h。因受限于国内微小音速喷嘴加工精度较低及高准确度的微小气体流量装置较少,对微小音速喷嘴流出特性的实验研究进展缓慢。为了满足近年来生物医学和环境监测中微小气体流量量值的可追溯性需求,迫切需要建立适用于微小气体流量的原... 

【文章来源】：河北大学河北省

【文章页数】：80 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

音速喷嘴的几何形状和流量特性

图 2-2 NIM 新建成的两套高压 pVTt 法气体流量装置实物图源部分的主要作用是为装置提供持续稳定的气流，主要由空气压缩机、、一级储气罐、一级减压阀、二级储气罐和二级减压阀等部件组成。气源理及运行方法为：首先，空气压缩机可提供最高压力达 11 MPa 的压缩空

图 2-4 pVTt 法气体流量装置工作原理图2.1.3 附加体积与附加质量100 L pVTt 法气体流量装置工作部分的内部结构图如图 2-5 所示，其中，被检音速喷嘴喉部与快速换向三通阀之间管道的容积被称为附加体积。在一段测量时间间隔内，

【参考文献】：
期刊论文
[1]高压pVTt法气体流量标准装置不确定度实现及验证[J]. 曹培娟,李春辉,崔骊水,张翰.  计量学报. 2017(06)
[2]微小流量仪表性能及其应用[J]. 蔡武昌.  石油化工自动化. 2009(04)
[3]音速喷嘴扩散段形状对流出系数的影响[J]. 李春辉,王池.  计量学报. 2008(05)
[4]大气采样器计量标准的测量不确定度[J]. 常光玲.  化学分析计量. 2008(04)
[5]2mm喉径喷嘴入口段对其流出系数的影响[J]. 李春辉.  计量技术. 2007(11)

硕士论文
[1]滞止压力对音速喷嘴流出系数的影响研究[D]. 曹培娟.河北大学 2016
[2]小流量音速喷嘴装置及测量特性研究[D]. 戚珊珊.中国计量学院 2015
[3]气体小流量计量方法研究与标准装置开发[D]. 徐亚.中南大学 2012



本文编号：3142760