质谱仪用离子泵供电和真空控制系统的研制

发布时间：2021-04-24 23:28

　　基于质谱仪小型化和集成化的需求,设计了一套离子泵供电和真空控制系统,该系统分为高压供电和真空控制两部分。高压供电部分主要通过集成到电路板上的高压模块来实现。真空控制部分主要通过以嵌入式处理器PIC32为主体的电路板实现真空度的采集以及减压泵等部件的开关控制。该系统作为配套设备已经在质谱仪上经过长期测试,性能可靠。 

【文章来源】：科技风. 2020,(17)

【文章页数】：2 页

【文章目录】：
1 系统概述
2 系统电路设计
3 系统软件设计
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]基于Modbus的三氟甲磺酸电解槽阴极H2监测系统[J]. 严奉轩,龙希伟,李鑫,王文锦,孙喜堂.  仪表技术与传感器. 2016(01)



本文编号：3158261