静电驱动下振梁微陀螺仪的性能分析

发布时间：2021-04-30 05:26

　　研究了一种末端带有检测质量块的单轴静电悬臂梁式微陀螺仪。检测质量块受到两个固定电极的耦合作用,这两个电极均连接直流电压以使质量块产生较大的静态变形。在驱动方向上的电极还受到交流电压的作用,驱动质量块产生主振动。当有旋转发生时,在垂直于主振动的敏感方向上质量块会受到科氏力而产生1个二次振动,通过测得二次振动的幅值大小便可以测得角速度。首先,依据Hamilton原理建立了振梁微陀螺仪的控制方程,研究了旋转悬臂梁的两个横向耦合振动。其次,分析了多种参数对微陀螺仪静态变形的影响,并求得了系统前2阶固有频率。研究发现不同参数对系统固有频率的影响规律,并讨论了系统驱动和敏感方向上的动力学放大效应及其校正曲线。 

【文章来源】：振动工程学报. 2020,33(04)北大核心EICSCD

【文章页数】：8 页

【文章目录】：
引言
1 微陀螺仪建模
2 静态分析
3 动态分析
    3.1 固有频率
    3.2 动力学响应
    3.3 校正曲线
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]The oscillatory behavior, static and dynamic analyses of a micro/nano gyroscope considering geometric nonlinearities and intermolecular forces[J]. M.Mojahedi,M.T.Ahmadian,K.Firoozbakhsh.  Acta Mechanica Sinica. 2013(06)



本文编号：3168925