刚柔耦合微定位平台的设计与分析

发布时间：2021-05-06 10:53

　　设计了一种采用压电陶瓷驱动的3自由度刚柔耦合微定位平台,利用柔性铰链机构及自锁原理在保证装置定位精度的同时提高了微定位平台的承载能力.首先,对该平台的结构进行了设计,分析其运动及自锁原理;然后采用ANSYS对微定位平台进行了性能分析,结果表明,该微定位平台在y方向变形为28.8μm/100 N,z方向的变形为0.205μm/100 N;模态分析中,xy向驱动板和z向驱动板一阶固有频率较高,具有比较理想的动力学特性,能够用于加工过程中承载力变化较大的情况. 

【文章来源】：天津理工大学学报. 2020,36(05)

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 刚柔耦合微定位平台
    1.1 结构设计
    1.2 运动及自锁原理分析
2 仿真分析
    2.1 静力学分析
    2.2 动力学分析
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]一种新型精密微定位平台的设计与分析[J]. 唐军,陈庭辉,尹磊,秦智,杨书麟.  机械设计. 2019(05)
[2]压电驱动串级菱形位移放大微定位平台的设计[J]. 徐方超,魏恒志,孙凤,陆鹤,李强.  仪器仪表学报. 2019(01)
[3]串联式二维微定位平台的设计[J]. 崔志勇,黄卫清,孙梦馨,王寅.  机械设计与制造. 2018(S1)
[4]3自由度混合柔性铰链微定位平台的设计与分析[J]. 黄兴山,卢清华,何琼.  机床与液压. 2018(07)
[5]压电微定位平台建模及控制方法研究[J]. 杨腾飞,胡贞.  仪器仪表用户. 2018(01)
[6]单自由度柔性微定位平台的设计与分析[J]. 贾晓辉,刘今越.  机械设计. 2017(10)
[7]菱形压电微位移放大机构的设计[J]. 黄卫清,史小庆,王寅.  光学精密工程. 2015(03)
[8]一种3自由度精密微定位平台的设计与分析[J]. 卢清华,黄世乾.  机械设计与研究. 2014(05)
[9]柔性铰链微定位平台的设计[J]. 马立,谢炜,刘波,孙立宁.  光学精密工程. 2014(02)
[10]四种不同柔性铰链的三自由度微定位平台性能比较[J]. 胡俊峰,徐贵阳.  机械设计与制造. 2014(02)



本文编号：3171796