微机械电容式加速度计读出电路研究与设计

发布时间：2021-05-11 03:26

　　为了提高电容式MEMS加速度计测量精度,设计了一种应用于MEMS加速度计微弱信号读出电路;读出电路由T型阻容网络放大电路、模拟开关解调电路和四阶带通滤波电路组成,通过Multisim软件仿真分析各模块电路原理并确定影响读出电路的主要因素,进一步优化确定元器件最佳参数,最后制作出PCB电路板并开展实验测试,实验结果表明微弱信号检测准确率达90%以上,能很好地满足电容式MEMS加速度计微弱信号检测要求,同时该读出电路具有尺寸小、易调节、易于ASIC集成等特点,在微机械仪表的微小电容检测中有较高的实用价值。 

【文章来源】：计算机测量与控制. 2020,28(08)

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
0 引言
1 原理与设计
    1.1 T型阻容网络放大电路分析与设计
        1.1.1 典型电荷放大器电路与T型阻容网络放大电路
        1.1.2 T型阻容网络放大电路
        1.1.3 T型阻容网络放大电路参数分析
    1.2 解调电路、带通滤波电路分析与设计
        1.2.1 模拟开关解调电路
        1.2.2 四阶带通滤波电路
        1.2.3 四阶带通滤波电路参数分析
2 实验结果与分析
3 结束语


【参考文献】：
期刊论文
[1]低噪声硅微陀螺敏感电容电荷读出电路设计[J]. 卢月娟,徐大诚,郭述文.  传感器与微系统. 2017(01)
[2]MEMS惯性传感器随机误差分析与去噪研究[J]. 孙淑光,王天游,程鹏,贾昌磊.  计算机测量与控制. 2016(03)
[3]基于MEMS传感器的微惯性导航系统研究[J]. 胡士峰,马建仓,孟凡路.  计算机测量与控制. 2009(05)
[4]适于MEMS加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器[J]. 陈江华,项斌,莫邦燹,王展飞,倪学文.  北京大学学报(自然科学版). 2008(01)
[5]一种电荷放大器的设计[J]. 姚素芬,车跃军,赵健强.  太原机械学院学报. 1989(04)



本文编号：3180623