高精度楔形棱镜加工中的检测技术

发布时间：2021-05-14 15:35

　　棱镜广泛应用于各种光学系统中。实际应用中,仅有部分具有特定角度的棱镜能够达到较高的形位精度,主要受到这类光学元件加工过程中检测能力的限制。对一个非特殊夹角的楔形棱镜,提出粗加工和精加工过程的加工工艺和检测方法。该楔形棱镜最终达到的精度为:有效口径内面形误差PV值优于0.2λ（1λ=632.8nm）,楔角误差和塔差优于5″。结果表明加工工艺和检测方法,可以实现楔形棱镜的高精度制造,对于其他夹角的此类光学元件制造也能提供有效指导。 

【文章来源】：光学技术. 2020,46(05)北大核心CSCD

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
0 引 言
1 工艺流程
2 粗加工阶段工艺
    2.1 基于坐标测量的粗加工检测
    2.2 粗加工工艺
3 精加工阶段工艺
    3.1 基于准直光管的角度测量方法
    3.2 基于确定性抛光的精加工工艺
4 加工实例
5 结 论


【参考文献】：
期刊论文
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本文编号：3185897