波长渐变滤光片的设计与测试探讨

发布时间：2021-06-07 05:17

　　基于膜厚渐变-波长渐变的原理设计了波长渐变滤光片,介绍了基于反应磁控溅射镀膜工艺制造波长渐变滤光片的制备工艺,设计了渐变膜厚的修正掩膜板。探讨了波长渐变滤光片的测试技术。 

【文章来源】：真空. 2020,57(01)

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 波长渐变滤光片的设计
2 反应磁控溅射镀膜设备的渐变膜厚镀膜工艺和厚度渐变掩膜板的设计
    2.1 基于反应磁控溅射镀膜设备的膜厚渐变原理
    2.2 渐变厚度掩膜板型线设计
    2.3 膜厚测试
3 波长渐变滤光片测试技术
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]高精度数字星等模拟器的设计[J]. 高兴华,李建永,王霞.  激光与光电子学进展. 2017(02)
[2]线性渐变滤光片型多光谱成像光谱仪设计[J]. 王颖,巩岩.  激光与光电子学进展. 2016(01)
[3]高色散系数线性渐变滤光片的研制[J]. 张建,高劲松,李玉东.  光学精密工程. 2015(05)
[4]线性渐变滤光片光谱分光特性及检测方法研究[J]. 柳青,周锦松,聂云峰,李杨,张桂峰.  光谱学与光谱分析. 2015(04)
[5]基于线性渐变滤光片的成像光谱仪综述[J]. 李文杰,王成良,郑新波,石斌斌,欧阳琰.  红外. 2015(03)
[6]基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计[J]. 张立超,高劲松.  光学精密工程. 2013(11)
[7]线性渐变滤光片镀制挡板设计[J]. 秦洁玉,罗崇泰,马勉军.  真空与低温. 2007(01)
[8]线性渐变滤光片的制备与测试[J]. 范滨,李刚正,程鑫彬,王利,王占山,唐骐.  光学仪器. 2006(04)
[9]光学薄膜厚度修正挡板的设计[J]. 林坚,林永钟,廖群峰.  光子学报. 1999(09)

博士论文
[1]线性渐变滤光片型近红外水果品质分析仪及应用研究[D]. 于新洋.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2016



本文编号：3215947