片上集成滤光微结构的研究进展

发布时间：2021-06-17 11:03

　　由于在传统的红外探测器系统中,滤光片与探测器是分立存在的,所以普遍存在"串色"的问题,而实现滤光片在探测器上的片上集成,可以解决这一问题。为此,国内外做了很多研究。论述了国内外关于片上集成滤光微结构的一些研究进展。 

【文章来源】：金陵科技学院学报. 2020,36(01)

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

集成滤光膜探测器

图3 集成滤光膜探测器2010年法国Sofradir公司设计出集成滤光结构的新型红外探测器,实现了红外探测器的小型化。他是在红外探测器旁边放置一块光学透镜,这种集成光学透镜的红外探测器可以独立成像。

1998年Marcus等制作了RGB三色的微型滤光片阵列,用于多色的传感器,在其中主要采用了镀膜、微光刻技术和干法刻蚀工艺。他们主要是在每次镀滤光膜之前先沉积一层停止刻蚀层MgF2,然后镀滤光膜,后通过光刻掩膜离子刻蚀形成一个颜色的通道,重复三次得到RGB三色微型滤光片阵列如图1所示。微型滤光片的透射光谱如图2所示[1]。图2 三色滤光片的透射光谱

【参考文献】：
期刊论文
[1]CCD彩色滤光片的制备与集成技术研究[J]. 黄建,向鹏飞,陈红兵,李仁豪.  半导体光电. 2015(05)
[2]高色散系数线性渐变滤光片的研制[J]. 张建,高劲松,李玉东.  光学精密工程. 2015(05)
[3]基于Fabry-Perot腔阵列光谱传感器的集成化研究[J]. 张雪静,温志渝,王建国,孙建新.  传感技术学报. 2008(01)
[4]基于Fabry-Perot腔阵列的集成化微型光谱仪方案及模拟[J]. 温志渝,陈刚,王建国.  光谱学与光谱分析. 2006(10)

博士论文
[1]用于高集成光谱技术的多层楔形薄膜滤光片研究[D]. 唐昊龙.中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 2019
[2]红外双色滤光片的研制及其低温光谱研究[D]. 蔡渊.中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所) 2017
[3]集成滤光微结构的InGaAs短波红外探测器[D]. 王云姬.中国科学院研究生院（上海技术物理研究所） 2014



本文编号：3235072