微透镜阵列慢刀伺服金刚石车削位置精度的研究

发布时间：2021-06-20 20:52

　　为了进一步提高超精密慢刀伺服车削微透镜阵列的加工精度,采用实验的方法,通过分组加工法加工了矩形口径微透镜阵列和六边形口径微透镜阵列,分析了不同微透镜口径对超精密慢刀伺服车削微透镜阵列的位置精度的影响。实验结果表明:六边形口径微透镜阵列的位置精度更好,且位置精度波动比矩形口径微透镜阵列要小,其整体位置精度范围为0.3～2.1 μm,第一圈位置精度范围为1.7～1.9 μm,第二圈位置精度范围为0.3～1.2 μm,中心透镜对四周的位置误差范围为1.5～2.1 μm。 

【文章来源】：组合机床与自动化加工技术. 2020,(08)北大核心

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

矩形排布的微透镜阵列

矩形区域中心为透镜中心,并且所有矩形区域的边长为Llens,Rlens为球半径,Hlens为球冠高,通过透镜曲面方程可计算出阵列表面上任意一点P的Z坐标值。此时P点的三维坐标值可通过式(1)计算得。根据方程仿真的数学模型如图2所示。1.2 六边形口径微透镜阵列

六边形排布微透镜阵列中每个微透镜占据一个等边六边形区域,如图3所示。为提高计算效率,参考四边形排布微透镜阵列计算中心点的思路,将X-Y平面划分为一系列的矩形区域,其中任意一个矩形均分布于两个相邻正六边形区域内部,矩形的对角顶点分别与所在的正六边形区域中心重合;仿照四边形透镜阵列中心点的计算方法,根据矩形的长来确定投影点所在矩形对应的相邻正六边形中心点的x坐标值。再根据文献[12]的数学模型仿真如图4所示。图4 六边形排布的微透镜阵列数学仿真

【参考文献】：
期刊论文
[1]基于微透镜阵列匀束的激光二极管面阵抽运耦合系统分析[J]. 严雄伟,王振国,蒋新颖,郑建刚,李敏,荆玉峰.  物理学报. 2018(18)
[2]基于超精密复眼加工的光场成像研究[J]. 陈增源,李莉华,李荣彬,袁伟,刘亚辉.  机械工程学报. 2016(17)

博士论文
[1]非回转对称微结构表面超精车削轨迹生成及形状误差评价[D]. 周京博.哈尔滨工业大学 2013



本文编号：3239912