宽带高透过率二氧化硅Sol-gel膜的制备及其应用性能研究

发布时间：2021-06-21 15:58

　　增透膜在透射光学元件上的运用,提升了光学系统的光学性能,拓展了光学系统的应用领域。目前,在640nm-660nm的窄波段内单层增透膜的峰值透过率已近100%,对于700nm-900nm甚至更宽波段增透膜还有待进一步探索研究。溶胶-凝胶法制备的SiO2 sol-gel膜具有透过率高、结构可调控以及耐磨性好等特点引起了人们的关注。随着应用的深入,对宽波段、高透过率SiO2 sol-gel膜的制备和使用过程中溶胶凝胶材料的稳定性、Sol-gel膜的环境稳定性以及力学特性等应用性能提出了新的要求。本论文围绕以上提出的新要求,对三种传统溶胶-凝胶方法制备SiO2 sol-gel膜的过程及其应用进行了研究,在深入理解各自催化原理的基础上,研究影响SiO2溶胶-凝胶粘度和稳定性的因素和规律;探究控制SiO2 sol-gel膜力学特性、折射率、环境稳定性的可能方法和技术途径,开展宽波段增透膜的研制和性能测试。相关的研究成果如下:（1）采用正交试验法研究影响酸催化方法获得的SiO2溶胶-凝胶粘度和折射率的因素。结果表明:酸催化法制备SiO2溶胶-凝胶的材料组分中,无水乙醇对溶胶-凝胶粘度的影响最大;且粘... 

【文章来源】：苏州大学江苏省

【文章页数】：85 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图１－１单层增透膜示意图??－

图１－２真空蒸发镀膜设备示意图??

图１－３溅射镀膜原理图??

【参考文献】：
期刊论文
[1]基于敏感薄膜的F-P光纤温度传感器的高温特性[J]. 高晓丹,彭建坤.  半导体光电. 2020(01)
[2]溶胶-凝胶法制备二氧化硅薄膜及其性能分析[J]. 谢长花,李家波.  玻璃. 2020(01)
[3]蔗糖溶液折射率与浓度关系的理论和实验探究[J]. 许飞,朱江转,高云静,郑虎林,李中超,朱怡然.  大学物理. 2020(01)
[4]全反射比较法测量液体折射率色散的研究[J]. 白芸,汪娟,黄佐华.  华南师范大学学报(自然科学版). 2019(06)
[5]退火温度对（STO/YSZ/GDC）4超晶格电解质薄膜的影响[J]. 张磊,张海霞,何佳,薛康,格日乐,石磊,鲍秀珍,丁铁柱.  稀土. 2019(06)
[6]基于X射线衍射法的球形储罐残余应力检测工艺研究[J]. 李磊,林鹏程.  中国特种设备安全. 2019(10)
[7]氟化PVA-SiO2薄膜单面疏水性的研究与表征[J]. 王筱宁,杨雨凡,曹雨晴,詹红钰,杨国超,蔡静蕊.  包装工程. 2019(19)
[8]薄膜残余应力和表面杂质对变形镜疲劳寿命的影响[J]. 余霞,王家秋,张彬.  红外与激光工程. 2019(09)
[9]高功率脉冲磁控溅射制备的TiN薄膜应力释放及其结合稳定性研究[J]. 唐鑫,马东林,陈畅子,冷永祥,黄楠.  表面技术. 2019(09)
[10]离子束溅射镀膜设备及工艺技术研究[J]. 胡凡,陈特超,范江华,罗超.  电子工业专用设备. 2019(04)

博士论文
[1]低吸收氧化物光学薄膜研究[D]. 孔明东.中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 2019
[2]溶胶—凝胶法多功能SiO2增透膜的制备与性能研究[D]. 陶朝友.中国工程物理研究院 2017
[3]宽带增透二氧化硅光学薄膜的纳米结构与光学性能研究[D]. 晏良宏.中国工程物理研究院 2016
[4]Bi系氧化物薄膜的分子束外延法制备及微结构研究[D]. 张炳森.东北大学 2009
[5]电沉积铜薄膜中织构与内应力的研究[D]. 洪波.上海交通大学 2008

硕士论文
[1]超声辅助溶胶—凝胶法制备TiO2-SiO2复合气凝胶及其光降解对硝基苯酚的研究[D]. 黄岩.广西大学 2019
[2]氧化硅薄膜裂纹形貌及影响因素的研究[D]. 程赋.中国科学技术大学 2018
[3]光学薄膜界面粗糙度调控及减散射特性研究[D]. 杨琛.西安工业大学 2018
[4]溶胶—凝胶法制备SiO2减反膜及其自洁性能研究[D]. 吕婷婷.东华理工大学 2017
[5]磷酸为模板的SiO2减反射膜的研究[D]. 温文.上海应用技术大学 2017
[6]SiO2复合薄膜改性及DDS修饰的搪瓷表面疏水性能研究[D]. 伍璐璐.东华大学 2017
[7]光学薄膜应力的分布与控制研究[D]. 高春雪.东南大学 2015
[8]高分子薄膜的提拉法制备及成膜机理研究[D]. 赵俊丽.东华大学 2014
[9]分子束外延Fe/Si异质结构的热稳定性[D]. 魏彦平.兰州大学 2014
[10]电子束物理气相沉积法制备SiC薄膜及性能研究[D]. 潘训刚.合肥工业大学 2012



本文编号：3240964